Calentadores de agua DI para procesos de fabricación de semiconductores
| Modelo | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
|---|---|---|---|---|---|
| Método de calentamiento | Calentamiento por radiación con rayos infrarrojos cercanos | ||||
| Potencia del calentador | 24kW | 48kW | 72kW | 96kW | 144kW |
| Caudal estándar (a 55°C) | 6l/min | 12l/min | 18l/min | 24l/min | 36l/min |
| Caudal mínimo de calentamiento | 2l/min | 5l/min | 10l/min | ||
| Rango de ajuste de temperatura | 25 a 85°C | ||||
| Precisión del control de temperatura | ±1°C *1 | ||||
| Rango de indicación del caudalímetro | 0 a 10l/min | 0 a 50l/min (No es el rango garantizado de precisión del control de temperatura) | |||
| Presión admisible de agua DI | 0.4MPa (Presión de alivio: 0.35MPa) | ||||
| Calentador | Lámpara halógena. Calentamiento indirecto sin contacto directo con el agua | ||||
| Material de los recipientes de calentamiento | Cuarzo transparente de alta pureza | ||||
| Materiales mojados de la tubería | Polímero de fluorocarbono | ||||
| Funciones de seguridad | Error de caudal, sobrecalentamiento, operación sin líquido, desconexión del sensor de fugas y desconexión de la lámpara. Apagado, alarma, indicación de error o salida de señal en caso de detección de error | ||||
| Función de comunicación externa | RS-232C/RS-485 (opcional) *2 | ||||
| Función de entrada/salida externa | Señal de 8 entradas/14 salidas (Varía según la especificación) | ||||
| Dimensiones generales (mm) *3 | W340×D850×H1384 | W340×D850×H1384 | W340×D850×H1584 | W340×D850×H1986 | W1050×D700×H2004 |
| Peso | Aprox. 140kg | Aprox. 150kg | Aprox. 160kg | Aprox. 210kg | Aprox. 410kg |
| Requisito de potencia (50/60Hz) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Un sistema de suministro de agua caliente para agua ultrapura ideal para el punto de uso para el enjuague de obleas de silicio y sustratos de vidrio de pantallas de cristal líquido.
El calentador de agua DI calienta agua purificada utilizada para enjuagar obleas de silicio en la fabricación de semiconductores y sustratos de vidrio en la fabricación de LCD. Las lámparas halógenas están alojadas en tubos de vidrio de cuarzo de alta pureza de doble pared transparentes para garantizar un calentamiento eficiente y libre de contaminantes del agua ultrapura. El diseño delgado y compacto minimiza el espacio de instalación en el punto de uso.