Di vloeibare boilers voor het productieproces van halfgeleiders
Model | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
---|---|---|---|---|---|
Verwarmingsmethode | Stralingsverwarming met bijna infraroodstralen | ||||
Verwarming | 24 kW | 48 kW | 72 kW | 96 kW | 144 kW |
Standaard stroomsnelheid (bij 55 ° C) | 6l/min | 12L/min | 18L/min | 24L/min | 36L/min |
Minimale verwarmingsstroomsnelheid | 2l/min | 5l/min | 10L/min | ||
Temperatuurinstellingsbereik | 25 tot 85 ° C | ||||
De nauwkeurigheid van de temperatuurregeling | ± 1 ° C ※ 1 | ||||
Stroommeterindicatiebereik | 0 tot 10l/min | 0 tot 50L/min (niet het gegarandeerde bereik van de nauwkeurigheid van de temperatuurregeling) | |||
Toegestane DI-water druk | 0,4 mpa (reliëfdruk: 0,35 mpa) | ||||
Verwarming | Halogeenlamp. Indirecte verwarming zonder direct contact met water | ||||
Verwarmingsvaten materiaal | Hoge zuivere transparant kwarts | ||||
Bevochtigde materialen van de leidingen | Fluorocarbon polymeer | ||||
Veiligheidsfuncties | Foutenfout, oververhitting, geen vloeistofbewerking, leksensor loskoppeling en lamp loskoppelingsvermogen, alarm, foutindicatie of signaaluitgang in geval van foutdetectie | ||||
Externe communicatiefunctie | RS-232C/RS-485 (optie) ※ 2 | ||||
Externe invoer/uitvoerfunctie | 8-input/14-output signaal (varieert afhankelijk van de specificatie) | ||||
Algemene afmetingen (mm) ※ 3 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1584 | W340 × D850 × H1986 | W1050 × D700 × H2004 |
Gewicht | Ca. 140 kg | Ca. 150 kg | Ca. 160 kg | Ca. 210 kg | Ca. 410 kg |
Vermogensvereiste (50/60Hz) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Een warmwatervoorzieningssysteem voor ultrazuiver water dat ideaal geschikt is voor het gebruik van het gebruik van siliciumwafels en glazen substraten van vloeibare kristalschermen.
Di-waterverwarming verwarmt gezuiverd water dat wordt gebruikt om siliciumwafels te spoelen bij de productie van halfgeleider- en glazen substraten bij de productie van LCD's. De halogeenlampen zijn gehuisvest in transparante, dubbelwandige hoogzuivere kwarts van glazen buizen om een efficiënte en verontreinigende vrije verwarming van ultrazuiver water te garanderen. Het slanke, compacte ontwerp minimaliseert het voetpunt voor installatie op het gebruikspunt.