aquecedores de água com fluido DI para processos de fabrico de semicondutores
| Modelo | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
|---|---|---|---|---|---|
| Método de aquecimento | Aquecimento por radiação com raios infravermelhos próximos | ||||
| Potência do aquecedor | 24 kW | 48 kW | 72 kW | 96 kW | 144 kW |
| Fluxo padrão (a 55°C) | 6 l/min | 12 l/min | 18 l/min | 24 l/min | 36 l/min |
| Fluxo mínimo de aquecimento | 2 l/min | 5 l/min | 10 l/min | ||
| Intervalo de regulação da temperatura | 25 a 85°C | ||||
| Precisão do controlo da temperatura | ±1°C ※1 | ||||
| Intervalo de indicação do medidor de caudal | 0 a 10 l/min | 0 a 50 l/min (Não a gama garantida de precisão do controlo da temperatura) | |||
| Pressão DI-Água admissível | 0.4 MPa (pressão de relevo: 0,35 MPa) | ||||
| Aquecedor | Lâmpada halogénica, aquecimento indireto sem contacto directo com a água | ||||
| Material de recipientes de aquecimento | Quartzo transparente de alta pureza | ||||
| Materiais molhados da tubulação | Polímero de fluorocarbonetos | ||||
| Funções de segurança | Erro da taxa de fluxo, superaquecimento, ausência de funcionamento do líquido, desconexão do sensor de fugas e desconexão da lâmpada Desligação, alarme, indicação de erro ou saída de sinal em caso de detecção de erro | ||||
| Função de comunicação externa | RS-232C/RS-485 (opcional) ※2 | ||||
| Função de entrada/saída externa | 8 sinais de entrada/14 de saída (variam consoante a especificação) | ||||
| Dimensões totais (mm) ※3 | W340×D850×H1384 | W340×D850×H1384 | W340×D850×H1584 | W340×D850×H1986 | W1050×D700×H2004 |
| Peso | Aproximadamente 140 kg. | Aproximadamente 150 kg. | Aproximadamente 160 kg. | Aproximadamente 210 kg. | Aproximadamente 410 kg. |
| Requisito de potência (50/60 Hz) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Um sistema de abastecimento de água quente para água ultrapura ideal para o enxaguamento de wafers de silício e substratos de vidro de ecrãs de cristal líquido.
O aquecedor de água DI aquece a água purificada utilizada para enxaguar wafers de silício no fabrico de semicondutores e substratos de vidro no fabrico de LCDs.Tubos de vidro de quartzo de alta pureza, de parede dupla, para assegurar um aquecimento eficiente e livre de contaminantes da água ultrapuraO design fino e compacto minimiza o ponto do pé para instalação no ponto de utilização.