DI υγρούς θερμαντήρες για τη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών
Μοντέλο | PWH-24I | PWH-48I | PWH-72I | PWH-96I | PWH-144I |
---|---|---|---|---|---|
Μέθοδος θέρμανσης | Θέρμανση ακτινοβολίας με ακτίνες κοντά σε υπέρυθρες ακτίνες | ||||
Ισχύς θερμαντήρα | 24kW | 48kW | 72kW | 96kW | 144kW |
Πρότυπο ρυθμό ροής (στους 55 ° C) | 6L/λεπτό | 12L/λεπτό | 18L/λεπτό | 24L/λεπτό | 36L/λεπτό |
Ελάχιστος ρυθμός ροής θέρμανσης | 2L/λεπτό | 5L/λεπτό | 10L/λεπτό | ||
Εύρος ρύθμισης θερμοκρασίας | 25 έως 85 ° C | ||||
Ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας | ± 1 ° C ※ 1 | ||||
Εύρος ένδειξης μετρητή ροής | 0 έως 10L/λεπτό | 0 έως 50L/λεπτό (όχι το εγγυημένο εύρος ακρίβειας ελέγχου θερμοκρασίας) | |||
Επιτρεπόμενη πίεση διχασμού νερού | 0.4MPa (πίεση ανακούφισης: 0.35MPa) | ||||
Θερμάστρα | Λάμπα αλογόνου. Έμμεση θέρμανση χωρίς άμεση επαφή με το νερό | ||||
Υλικό σκάφους θέρμανσης | Διαφανής χαλαζία υψηλής καθαρότητας | ||||
Βρέθηκαν υλικά των σωληνώσεων | Πολυμερές φθοροβάνων | ||||
Λειτουργίες ασφαλείας | Σφάλμα ρυθμού ροής, υπερθέρμανση, μη υγρή λειτουργία, αποσύνδεση αισθητήρα διαρροής και απενεργοποίηση αποσύνδεσης του λαμπτήρα, συναγερμός, ένδειξη σφάλματος ή έξοδος σήματος σε περίπτωση ανίχνευσης σφαλμάτων | ||||
Εξωτερική λειτουργία επικοινωνίας | RS-232C/RS-485 (επιλογή) ※ 2 | ||||
Εξωτερική λειτουργία εισόδου/εξόδου | Σήμα 8 εισόδου/14-output (ποικίλλει ανάλογα με τις προδιαγραφές) | ||||
Συνολικές διαστάσεις (mm) ※ 3 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1584 | W340 × D850 × H1986 | W1050 × D700 × H2004 |
Βάρος | Περίπου. 140 κιλά | Περίπου. 150 κιλά | Περίπου. 160 κιλά | Περίπου. 210 κιλά | Περίπου. 410 κιλά |
Απαίτηση ισχύος (50/60Hz) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133Α | AC200/208V 208/200α | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Ένα σύστημα παροχής ζεστού νερού για εξαιρετικά καθαρό νερό που είναι ιδανικό κατάλληλο για τη χρήση του ξεπλύματος των πλακών πυριτίου και των γυάλινων υποστρωμάτων των οθονών υγρών κρυστάλλων.
Ο θερμαντήρας διπλά νερού θερμαίνει το καθαρισμένο νερό που χρησιμοποιείται για να ξεπλύνετε τα πλακίδια πυριτίου στην κατασκευή ημιαγωγών και γυάλινων υποστρωμάτων στην κατασκευή LCDs. Οι λαμπτήρες αλογόνου στεγάζονται σε διαφανή, διπλά τοίχωμα γυάλινων σωλήνων χαλαζία υψηλής καθαρότητας για να εξασφαλίσουν αποτελεσματική και μολυσματική ελεύθερη θέρμανση εξαιρετικά υψηλού νερού. Ο λεπτός, συμπαγής σχεδιασμός ελαχιστοποιεί το σημείο ποδιών για εγκατάσταση στο σημείο χρήσης.