|
| Место происхождения: | КИТАЙ |
| Фирменное наименование: | Surplus |
| Сертификация: | ISO9001 |
| Номер модели: | Деионизированная (DI) система водонагрева 02 |
DI Fluid Water Tabeaters для процесса производства полупроводников
| Модель | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
|---|---|---|---|---|---|
| Метод отопления | Радиационное нагревание с близкими инфракрасными лучами | ||||
| Нагреватель мощность | 24 кВт | 48 кВт | 72 кВт | 96 кВт | 144 кВт |
| Стандартная скорость потока (при 55 ° C) | 6 л/мин | 12 л/мин | 18 л/мин | 24 л/мин | 36 л/мин |
| Минимальная скорость потока нагрева | 2L/мин | 5 л/мин | 10 л/мин | ||
| Диапазон установки температуры | От 25 до 85 ° C. | ||||
| Точность контроля температуры | ± 1 ° C ※ 1 | ||||
| Диапазон индикации потока | От 0 до 10 л/мин | От 0 до 50 л/мин (не гарантированный диапазон точности контроля температуры) | |||
| Допустимое давление в ди-воде | 0,4 МПа (давление с рельефом: 0,35 МПа) | ||||
| Нагреватель | Галогенская лампа. Косвенное отопление без прямого контакта с водой | ||||
| Нагревающие сосуды материал | Прозрачный кварц | ||||
| Смачиваемые материалы трубопровода | Фторглеродный полимер | ||||
| Функции безопасности | Ошибка скорости потока, перегрев, отсутствие работы жидкости, отключение датчика утечки и отключение отключения лампы, выключение тревоги, индикация ошибок или выход сигнала в случае обнаружения ошибок | ||||
| Внешняя коммуникационная функция | RS-232C/RS-485 (опция) ※ 2 | ||||
| Внешний вход/вывод функция | Сигнал 8 входа/14-вывода (варьируется в зависимости от спецификации) | ||||
| Общие размеры (мм) ※ 3 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1584 | W340 × D850 × H1986 | W1050 × D700 × H2004 |
| Масса | Примерно 140 кг | Примерно 150 кг | Примерно 160 кг | Примерно 210 кг | Примерно 410 кг |
| Требование к мощности (50/60 Гц) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Система подачи горячей воды для ультрачистого воды, которая идеально подходит для точки зрения для полоскания кремниевых пластин и стеклянных подложков жидкокристаллических дисплеев.
Нагреватель DI-Water нагревает очищенную воду, используемую для ополаскивания кремниевых пластин при производстве полупроводниковых и стеклянных субстратов при изготовлении ЖК-дисплея. Галогенные лампы расположены в прозрачных, двухстенных кварцевых стеклянных трубках с высокой стенкой, чтобы обеспечить эффективное и беззагрядочное нагрев воды из ультра-пары. Тонкий, компактный конструкция сводит к минимуму точку стопы для установки в точке использования.
