|
| Место происхождения: | КИТАЙ |
| Фирменное наименование: | Surplus |
| Сертификация: | ISO9001 |
| Номер модели: | Деионизированная (DI) система водонагрева 02 |
Нагреватели деионизированной воды для производства полупроводников
| Модель | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
|---|---|---|---|---|---|
| Метод нагрева | Радиационный нагрев ближним инфракрасным излучением | ||||
| Мощность нагревателя | 24кВт | 48кВт | 72кВт | 96кВт | 144кВт |
| Стандартный расход (при 55°C) | 6л/мин | 12л/мин | 18л/мин | 24л/мин | 36л/мин |
| Минимальный расход для нагрева | 2л/мин | 5л/мин | 10л/мин | ||
| Диапазон установки температуры | от 25 до 85°C | ||||
| Точность регулирования температуры | ±1°C *1 | ||||
| Диапазон индикации расходомера | 0-10л/мин | 0-50л/мин (не гарантируется точность регулирования температуры) | |||
| Допустимое давление деионизированной воды | 0.4МПа (давление срабатывания предохранительного клапана: 0.35МПа) | ||||
| Нагреватель | Галогенная лампа. Косвенный нагрев без прямого контакта с водой | ||||
| Материал нагревательных камер | Высокочистый прозрачный кварц | ||||
| Смачиваемые материалы трубопроводов | Фторуглеродный полимер | ||||
| Функции безопасности | Ошибка расхода, перегрев, работа без жидкости, отключение датчика утечки и отключение лампы. Отключение питания, сигнализация, индикация ошибки или выходной сигнал при обнаружении ошибки. | ||||
| Функция внешней связи | RS-232C/RS-485 (опция) *2 | ||||
| Функция внешнего ввода/вывода | 8 входов/14 выходов (зависит от спецификации) | ||||
| Габаритные размеры (мм) *3 | Ш340×Г850×В1384 | Ш340×Г850×В1384 | Ш340×Г850×В1584 | Ш340×Г850×В1986 | Ш1050×Г700×В2004 |
| Вес | Прибл. 140кг | Прибл. 150кг | Прибл. 160кг | Прибл. 210кг | Прибл. 410кг |
| Требования к питанию (50/60Гц) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Система подачи горячей воды для сверхчистой воды, идеально подходящая для использования в точке потребления для промывки кремниевых пластин и стеклянных подложек жидкокристаллических дисплеев.
Нагреватель деионизированной воды нагревает очищенную воду, используемую для промывки кремниевых пластин при производстве полупроводников и стеклянных подложек при производстве ЖК-дисплеев. Галогенные лампы расположены в прозрачных двухстенных кварцевых трубках высокой чистоты для обеспечения эффективного и чистого нагрева сверхчистой воды. Тонкая, компактная конструкция минимизирует занимаемое пространство для установки в точке потребления.
