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| Lieu d'origine: | CHINE |
| Nom de marque: | Surplus |
| Certification: | ISO9001 |
| Numéro de modèle: | Système de chauffage à eau désionisé (DI) 02 |
DI Fluid Water Taeurs pour le processus de fabrication de semi-conducteurs
| Modèle | PWH-24I | PWH-48I | PWH-72I | PWH-96I | PWH-144I |
|---|---|---|---|---|---|
| Méthode de chauffage | Chauffage de rayonnement avec des rayons presque infrarouges | ||||
| Violation du radiateur | 24 kW | 48 kW | 72KW | 96 kW | 144KW |
| Débit standard (à 55 ° C) | 6L / min | 12L / min | 18L / min | 24L / min | 36L / min |
| Débit de chauffage minimum | 2L / min | 5L / min | 10L / min | ||
| Plage de réglage de la température | 25 à 85 ° C | ||||
| Précision du contrôle de la température | ± 1 ° C ※ 1 | ||||
| Plage d'indication de débitmètre | 0 à 10L / min | 0 à 50L / min (pas la plage garantie de précision de contrôle de la température) | |||
| Pression de di-eau admissible | 0,4 MPA (pression de secours: 0,35 MPA) | ||||
| Chauffage | Lampe halogène. Chauffage indirect sans contact direct avec l'eau | ||||
| Matériau de récipients de chauffage | Quartz transparent de haute pureté | ||||
| Matériaux mouillés de la tuyauterie | Polymère de fluorocarbone | ||||
| Fonctions de sécurité | Erreur de débit, surchauffe, pas de fonctionnement liquide, déconnexion du capteur de fuite et déconnexion de la lampe, alarme, indication d'erreur ou sortie du signal en cas de détection d'erreur | ||||
| Fonction de communication externe | RS-232C / RS-485 (option) ※ 2 | ||||
| Fonction d'entrée / sortie externe | Signal à 8 entrées / 14 sorties (varie en fonction de la spécification) | ||||
| Dimensions globales (mm) ※ 3 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1384 | W340 × D850 × H1584 | W340 × D850 × H1986 | W1050 × D700 × H2004 |
| Poids | Env. 140 kg | Env. 150 kg | Env. 160 kg | Env. 210 kg | Env. 410 kg |
| Exigence de puissance (50 / 60Hz) | AC200 / 208V 69 / 67A | AC200 / 208V 139 / 133A | AC200 / 208V 208 / 200A | AC200 / 208V 277 / 266A | AC200 / 208V 416 / 400A |
Un système d'approvisionnement en eau chaude pour l'eau ultra-pure qui est parfaitement adapté au point de poitrine pour le rinçage des tranches de silicium et des substrats en verre des affichages de cristal liquides.
Le radiateur Di-Water chauffe l'eau purifiée utilisée pour rincer les tranches de silicium dans la fabrication de substrats semi-conducteurs et de verre dans la fabrication des LCD. Les lampes halogènes sont logées dans des tubes en verre de quartz de haute pureté transparents à double paroi pour assurer un chauffage sans contaminant et sans contaminant d'eau ultra-pure. La conception mince et compacte minimise le point de pied pour l'installation au point d'utilisation.
