Scaldabagno a fluido DI per processi di produzione di semiconduttori
| Modello | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
|---|---|---|---|---|---|
| Metodo di riscaldamento | Riscaldamento a radiazione con raggi infrarossi vicini | ||||
| Potenza dello scaldabagno | 24kW | 48kW | 72kW | 96kW | 144kW |
| Portata standard (a 55°C) | 6l/min | 12l/min | 18l/min | 24l/min | 36l/min |
| Portata minima di riscaldamento | 2l/min | 5l/min | 10l/min | ||
| Intervallo di impostazione della temperatura | 25 - 85°C | ||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±1°C *1 | ||||
| Intervallo di indicazione del flussometro | 0 - 10l/min | 0 - 50l/min (Non è l'intervallo garantito di precisione del controllo della temperatura) | |||
| Pressione massima acqua DI ammissibile | 0.4MPa (Pressione di scarico: 0.35MPa) | ||||
| Scaldabagno | Lampada alogena. Riscaldamento indiretto senza contatto diretto con l'acqua | ||||
| Materiale dei recipienti di riscaldamento | Quarzo trasparente ad alta purezza | ||||
| Materiali bagnati della tubazione | Polimero fluorocarbonico | ||||
| Funzioni di sicurezza | Errore di portata, surriscaldamento, funzionamento a secco, disconnessione sensore di perdite e disconnessione lampada Spegnimento, allarme, indicazione di errore o uscita di segnale in caso di rilevamento di errore | ||||
| Funzione di comunicazione esterna | RS-232C/RS-485 (opzione) *2 | ||||
| Funzione di ingresso/uscita esterna | Segnale 8 ingressi/14 uscite (Varia a seconda delle specifiche) | ||||
| Dimensioni complessive (mm) *3 | L340×P850×A1384 | L340×P850×A1384 | L340×P850×A1584 | L340×P850×A1986 | L1050×P700×A2004 |
| Peso | Circa 140kg | Circa 150kg | Circa 160kg | Circa 210kg | Circa 410kg |
| Requisiti di alimentazione (50/60Hz) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Un sistema di fornitura di acqua calda per acqua ultra-pura ideale per l'uso puntuale per il risciacquo di wafer di silicio e substrati di vetro di display a cristalli liquidi.
Lo scaldabagno DI riscalda l'acqua purificata utilizzata per il risciacquo di wafer di silicio nella produzione di semiconduttori e substrati di vetro nella produzione di LCD. Le lampade alogene sono alloggiate in tubi di vetro al quarzo ad alta purezza a doppia parete trasparenti per garantire un riscaldamento efficiente e privo di contaminanti dell'acqua ultra-pura. Il design sottile e compatto riduce al minimo l'ingombro per l'installazione nel punto di utilizzo.