DI-Flüssigkeitswasserheizer für Halbleiterfertigungsprozesse
| Modell | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
|---|---|---|---|---|---|
| Heizmethode | Strahlungsheizung mit Nahinfrarotstrahlen | ||||
| Heizerleistung | 24kW | 48kW | 72kW | 96kW | 144kW |
| Standarddurchflussrate (bei 55°C) | 6l/min | 12l/min | 18l/min | 24l/min | 36l/min |
| Minimale Heizdurchflussrate | 2l/min | 5l/min | 10l/min | ||
| Temperatureinstellbereich | 25 bis 85°C | ||||
| Temperaturregelgenauigkeit | ±1°C ※1 | ||||
| Durchflussmesser-Anzeigebereich | 0 bis 10l/min | 0 bis 50l/min (Nicht der garantierte Bereich der Temperaturregelgenauigkeit) | |||
| Zulässiger DI-Wasserdruck | 0,4MPa (Überdruck: 0,35MPa) | ||||
| Heizer | Halogenlampe. Indirekte Heizung ohne direkten Kontakt mit Wasser | ||||
| Material der Heizbehälter | Hochreines transparentes Quarzglas | ||||
| Benetzte Materialien der Rohrleitungen | Fluorcarbonpolymer | ||||
| Sicherheitsfunktionen | Durchflussfehler, Überhitzung, Trockenlauf, Trennung des Leckagesensors und der Lampentrennung Stromabschaltung, Alarm, Fehleranzeige oder Signalausgabe bei Fehlererkennung | ||||
| Externe Kommunikationsfunktion | RS-232C/RS-485 (optional) ※2 | ||||
| Externe Ein-/Ausgabefunktion | 8 Ein-/14 Ausgänge (variiert je nach Spezifikation) | ||||
| Gesamtmaße (mm) ※3 | B340×T850×H1384 | B340×T850×H1384 | B340×T850×H1584 | B340×T850×H1986 | B1050×T700×H2004 |
| Gewicht | Ca. 140kg | Ca. 150kg | Ca. 160kg | Ca. 210kg | Ca. 410kg |
| Strombedarf (50/60Hz) | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
Ein Warmwasserversorgungssystem für ultrareines Wasser, das sich ideal für die Punktversorgung zum Spülen von Siliziumwafern und Glas-Substraten von Flüssigkristalldisplays eignet.
Der DI-Wasserheizer erwärmt gereinigtes Wasser, das zum Spülen von Siliziumwafern in der Halbleiterfertigung und von Glas-Substraten bei der Herstellung von LCDs verwendet wird. Die Halogenlampen sind in transparenten, doppelwandigen Hochreinquarzglasrohren untergebracht, um eine effiziente und kontaminationsfreie Erwärmung von ultrareinem Wasser zu gewährleisten. Das schlanke, kompakte Design minimiert den Platzbedarf für die Installation am Einsatzort.