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| 起源の場所: | 中国 |
| ブランド名: | Surplus |
| 証明: | ISO9001 |
| モデル番号: | デイオニ化 (DI) 水温器システム 02 |
半導体製造プロセス用 DI 流体水ヒーター
| モデル | PWH-24i | PWH-48i | PWH-72i | PWH-96i | PWH-144i |
|---|---|---|---|---|---|
| 加熱方式 | 近赤外線による放射加熱 | ||||
| ヒーター電力 | 24kW | 48kW | 72kW | 96kW | 144kW |
| 標準流量（55℃時） | 6l/min | 12l/min | 18l/min | 24l/min | 36l/min |
| 最小加熱流量 | 2l/min | 5l/min | 10l/min | ||
| 温度設定範囲 | 25～85℃ | ||||
| 温度制御精度 | ±1℃ ※1 | ||||
| 流量計指示範囲 | 0～10l/min | 0～50l/min（温度制御精度の保証範囲ではありません） | |||
| 許容 DI 水圧 | 0.4MPa（逃し圧：0.35MPa） | ||||
| ヒーター | ハロゲンランプ。水との直接接触なしの間接加熱 | ||||
| 加熱容器材質 | 高純度透明石英 | ||||
| 配管の濡れ部材 | フッ素樹脂 | ||||
| 安全機能 | 流量異常、過熱、無液運転、漏洩センサー断線、ランプ断線 エラー検出時の電源オフ、アラーム、エラー表示または信号出力 | ||||
| 外部通信機能 | RS-232C/RS-485（オプション） ※2 | ||||
| 外部入出力機能 | 8入力/14出力信号（仕様により異なります） | ||||
| 外形寸法（mm） ※3 | W340×D850×H1384 | W340×D850×H1384 | W340×D850×H1584 | W340×D850×H1986 | W1050×D700×H2004 |
| 重量 | 約140kg | 約150kg | 約160kg | 約210kg | 約410kg |
| 電源要件（50/60Hz） | AC200/208V 69/67A | AC200/208V 139/133A | AC200/208V 208/200A | AC200/208V 277/266A | AC200/208V 416/400A |
シリコンウェハーや液晶ディスプレイのガラス基板のリンス用途に最適な超純水のポイントオブユース向け温水供給システムです。
DI水ヒーターは、半導体製造におけるシリコンウェハーのリンスに使用される精製水や、LCDの製造におけるガラス基板のリンスに使用される精製水を加熱します。ハロゲンランプは、透明な二重壁の高純度石英ガラス管に収められており、超純水の効率的で汚染のない加熱を保証します。スリムでコンパクトなデザインは、ポイントオブユースでの設置に必要な設置面積を最小限に抑えます。
