当社の熱ソリューションと電源は、半導体およびウェハー加工産業の厳格なクリーンルームおよび超高純度(UHP)プロセス要件を満たしています。
これらの浸漬ヒーターは、半導体、製薬、バイオメディカル用途の流体浴にクリーンで均一な熱分布を提供します。コンパクトな設計により、化学薬品の消費を最小限に抑えながら、最大のプロセスエリアを確保できます。
すべての接触面は PFA 素材を使用しており、PVDF、PFA、または石英タンクと互換性があります。その他のタンク素材用のカスタム構成も可能です。
グリッド、フレーム、フェンスモデル(1.0~30.0 kW 出力)で利用可能な堅牢なヒーターは、低ワット密度(≤ 4 ワット/in²)で迅速な加熱応答を実現します。ほとんどのプロセスタンクに簡単に統合できます。
| 特徴 | 仕様 |
|---|---|
| ヒーターエレメント | 加熱コイル |
| 接触面 | PFA/PTFE |
| ワット数 | 1.0 - 20 kW |
| 電圧 | 120 - 480 VAC(単相または三相) |
| 温度 | 200℃(392°F) |
| ハイリミットセンサー | Type-J 熱電対 |
酸/アルカリ耐性および高温耐性を備えたカスタム PTFE ライニングタンク、容器、ミキサーを提供しています。利用可能な素材には、ガラスバッキング付きの PTFE、PFA、FEP、ECTFE、PVDF が含まれます。
当社の製品は、高効率 DC 出力、信頼性、ETL 認証により、電気化学的堆積プロセスをサポートします。
| 製品シリーズ | 説明 |
|---|---|
| カスタム PTFE スリーブ付きボトムヒーター、フレキシブルライザー付き(1000-6000W、120-600V) | |
| PTFE スリーブ付きボトムヒーター、フレキシブルライザー付き(1000-6000W、120-600V) | |
| O 字型 PTFE スリーブ付き 304 ステンレスエレメント(500-9000W、120-600V) |