当社の熱ソリューションと電源は、半導体およびウェーハ処理業界の厳しいクリーンルームおよび超高純度 (UHP) プロセス要件を満たしています。
これらの浸漬ヒーターは、半導体、製薬、および生物医学用途の流体浴にクリーンで均一な熱分布を提供します。コンパクトな設計により、化学薬品の消費を最小限に抑えながら、最大のプロセス領域を提供します。
すべての湿潤面は PFA 材料を使用しており、PVDF、PFA、または石英タンクと互換性があります。他のタンク材料については、カスタム構成が可能です。
グリッド、フレーム、フェンスモデル (1.0 ~ 30.0 kW 出力) で利用可能な頑丈なヒーターで、低ワット密度 (≤ 4 ワット/in²) により、迅速な加熱応答を実現します。ほとんどのプロセス タンクに簡単に統合できます。
| 機能 | 仕様 |
|---|---|
| ヒーターエレメント | 加熱コイル |
| 湿潤面 | PFA/PTFE |
| ワット数 | 1.0 - 20 kW |
| 電圧 | 120 - 480 VAC (1 相または 3 相) |
| 温度 | 200°C (392°F) |
| ハイリミットセンサー | Type-J 熱電対 |
当社は、耐酸性/耐アルカリ性と高温耐性を備えたカスタム PTFE ライニングタンク、容器、ミキサーを提供しています。利用可能な材料には、PTFE、PFA、FEP、ECTFE、PVDF があり、ガラス裏地付きです。
当社の製品は、高効率 DC 出力、信頼性、および ETL 認証を備えた電気化学的堆積プロセスをサポートしています。
| 製品シリーズ | 説明 |
|---|---|
| フレキシブルライザー付きカスタム PTFE スリーブボトムヒーター (1000-6000W、120-600V) | |
| フレキシブルライザー付き PTFE スリーブボトムヒーター (1000-6000W、120-600V) | |
| O 字型 PTFE スリーブ 304 ステンレス鋼エレメント (500-9000W、120-600V) |