Le nostre soluzioni termiche e alimentatori soddisfano i rigorosi requisiti di processo per camere bianche e ultra-alta purezza (UHP) delle industrie dei semiconduttori e della lavorazione dei wafer.
Questi riscaldatori a immersione forniscono una distribuzione del calore pulita e uniforme per bagni di fluidi nelle applicazioni per semiconduttori, farmaceutiche e biomediche. Il loro design compatto offre la massima area di processo con un consumo chimico minimo.
Tutte le superfici bagnate sono in materiale PFA, compatibile con serbatoi in PVDF, PFA o quarzo. Configurazioni personalizzate disponibili per altri materiali di serbatoi.
Riscaldatori robusti disponibili nei modelli a griglia, telaio e recinzione (potenza da 1,0 a 30,0 kW) con bassa densità di potenza (≤ 4 watt/in²) per una rapida risposta al riscaldamento. Facilmente integrabili nella maggior parte dei serbatoi di processo.
| Caratteristica | Specifiche |
|---|---|
| Elemento riscaldante | Bobina riscaldante |
| Superfici bagnate | PFA/PTFE |
| Potenze | 1,0 - 20 kW |
| Tensioni | 120 - 480 VAC (1 o 3 fasi) |
| Temperatura | 200°C (392°F) |
| Sensore di limite superiore | Termocoppia di tipo J |
Offriamo serbatoi, recipienti e miscelatori personalizzati rivestiti in PTFE con resistenza agli acidi/alcali e tolleranza alle alte temperature. I materiali disponibili includono PTFE, PFA, FEP, ECTFE e PVDF con supporto in vetro.
I nostri prodotti supportano i processi di deposizione elettrochimica con uscita DC ad alta efficienza, affidabilità e certificazione ETL.
| Serie di prodotti | Descrizione |
|---|---|
| Riscaldatore inferiore personalizzato con manicotto in PTFE e riser flessibile (1000-6000W, 120-600V) | |
| Riscaldatore inferiore con manicotto in PTFE e riser flessibile (1000-6000W, 120-600V) | |
| Elementi in acciaio inossidabile 304 con manicotto in PTFE a forma di O (500-9000W, 120-600V) |