당사의 열 솔루션 및 전원 공급 장치는 반도체 및 웨이퍼 가공 산업의 엄격한 클린룸 및 초고순도(UHP) 공정 요구 사항을 충족합니다.
이 침지 히터는 반도체, 제약 및 생명 공학 응용 분야에서 유체 욕조에 깨끗하고 균일한 열 분포를 제공합니다. 컴팩트한 디자인으로 화학 물질 소비를 최소화하면서 최대 공정 영역을 제공합니다.
모든 습식 표면은 PFA 재질로 되어 있으며 PVDF, PFA 또는 석영 탱크와 호환됩니다. 다른 탱크 재질에 대한 맞춤형 구성도 가능합니다.
견고한 히터는 그리드, 프레임 및 펜스 모델(1.0 ~ 30.0 kW 출력)로 제공되며 낮은 와트 밀도(≤ 4 와트/in²)로 빠른 가열 응답을 제공합니다. 대부분의 공정 탱크에 쉽게 통합할 수 있습니다.
| 기능 | 사양 |
|---|---|
| 히터 요소 | 가열 코일 |
| 습식 표면 | PFA/PTFE |
| 와트수 | 1.0 - 20 kW |
| 전압 | 120 - 480 VAC (1상 또는 3상) |
| 온도 | 200°C (392°F) |
| 과열 방지 센서 | J형 열전대 |
산/알칼리 저항 및 고온 내성을 갖춘 맞춤형 PTFE 라이닝 탱크, 용기 및 믹서를 제공합니다. 사용 가능한 재질에는 유리 백킹이 있는 PTFE, PFA, FEP, ECTFE 및 PVDF가 포함됩니다.
당사의 제품은 고효율 DC 출력, 신뢰성 및 ETL 인증을 통해 전기화학 증착 공정을 지원합니다.
| 제품 시리즈 | 설명 |
|---|---|
| 맞춤형 PTFE 슬리브 바닥 히터, 유연한 라이저 포함 (1000-6000W, 120-600V) | |
| PTFE 슬리브 바닥 히터, 유연한 라이저 포함 (1000-6000W, 120-600V) | |
| O형 PTFE 슬리브 304 스테인리스 스틸 요소 (500-9000W, 120-600V) |