Наши термические решения и источники питания соответствуют строгим требованиям к чистым помещениям и процессам сверхвысокой чистоты (UHP) в отраслях производства полупроводников и обработки пластин.
Эти погружные нагреватели обеспечивают чистое, равномерное распределение тепла для жидкостных ванн в полупроводниковой, фармацевтической и биомедицинской промышленности. Их компактная конструкция обеспечивает максимальную площадь обработки при минимальном расходе химикатов.
Все контактирующие с рабочей средой поверхности выполнены из материалов ПФА, совместимых с резервуарами из ПВДФ, ПФА или кварца. Доступны нестандартные конфигурации для других материалов резервуаров.
Прочные нагреватели доступны в решетчатом, рамном и ограждающем исполнении (выходная мощность от 1,0 до 30,0 кВт) с низкой удельной мощностью (≤ 4 Вт/дюйм²) для быстрого отклика на нагрев. Легко интегрируются в большинство технологических резервуаров.
| Характеристика | Спецификация |
|---|---|
| Нагревательный элемент | Нагревательная спираль |
| Контактирующие с рабочей средой поверхности | ПФА/ПТФЭ |
| Мощность | 1,0 - 20 кВт |
| Напряжение | 120 - 480 В переменного тока (1 или 3 фазы) |
| Температура | 200°C (392°F) |
| Датчик верхнего предела | Термопара типа J |
Мы предлагаем изготовленные на заказ резервуары, емкости и смесители с футеровкой из ПТФЭ, устойчивые к кислотам/щелочам и высокотемпературные. Доступные материалы включают ПТФЭ, ПФА, ФЭП, ЭКТФЭ и ПВДФ со стеклянной подложкой.
Наши продукты поддерживают процессы электрохимического осаждения благодаря высокоэффективному выходу постоянного тока, надежности и сертификации ETL.
| Серии продуктов | Описание |
|---|---|
| Изготовленный на заказ донный нагреватель с ПТФЭ-оболочкой и гибким стояком (1000-6000 Вт, 120-600 В) | |
| Донный нагреватель с ПТФЭ-оболочкой и гибким стояком (1000-6000 Вт, 120-600 В) | |
| ПТФЭ-оболоченные элементы из нержавеющей стали 304 О-образной формы (500-9000 Вт, 120-600 В) |