Наши тепловые решения и источники питания соответствуют требованиям процесса чистой комнаты и ультра-высокой трудовой (UHP) в промышленности по обработке полупроводниковых и пластин.
Эти погружения обеспечивают чистое, равномерное распределение тепла для жидких ванн в полупроводниковых, фармацевтических и биомедицинских применениях. Их компактная конструкция предлагает максимальную площадь процесса с минимальным химическим потреблением.
Все смачиваемые поверхности оснащены материалами PFA, совместимыми с PVDF, PFA или кварцевыми резервуарами. Пользовательские конфигурации доступны для других материалов резервуара.
Прочные нагреватели, доступные в моделях сетки, рамки и забора (выход от 1,0 до 30,0 кВт) с низкой плотностью ватта (≤ 4 Вт/в²) для быстрого нагрева. Легко интегрируется в большинство процессов.
| Особенность | Спецификация |
|---|---|
| Элемент обогревателя | Нагревающая катушка |
| Смачиваемые поверхности | PFA/PTFE |
| Мощность | 1,0 - 20 кВт |
| Напряжения | 120 - 480 Вак (1 или 3 фазы) |
| Температура | 200 ° C (392 ° F) |
| Датчик HI-Limit | Type-J Thermocouple |
Мы предлагаем пользовательские резервуары с PTFE, сосуда и смесители с сопротивлением кислотой/щелочком и высокой температурной допуском. Доступные материалы включают PTFE, PFA, FEP, ECTFE и PVDF со стеклянной поддержкой.
Наши продукты поддерживают процессы электрохимического осаждения с высокоэффективной выходом, надежностью и сертификацией ETL.
| Серия продуктов | Описание |
|---|---|
| Пользовательский нагреватель PTFE с гибким стояком (1000-6000 Вт, 120-600 В) | |
| Нагреватель PTFE с гибким подъемом (1000-6000 Вт, 120-600 В) | |
| O-образный PTFE в рукавах 304 нержавеющие элементы (500-9000 Вт, 120-600 В) |