Halbleiterprozessflüssigkeitsheizung, PTFE-Rahmen Inline-chemische Heizungen
Unser chemischer Halbleiterheizer bietet eine unübertroffene Leistung für die Erwärmung von Halbleiterprozessflüssigkeiten mit schnelleren Aufwärmzeiten und schnellen Installationsmöglichkeiten.
Wesentliche Merkmale
- Schnellere Aufheizung:Einzelheizkammergrößen bis zu 18 kW
- Schnelle Installation:angepasste Sanitärverbindungen
- Lange Lebensdauer der Heizung:Patentiertes Gasreinigungssystem entfernt chemische Permeation kontinuierlich für eine längere Lebensdauer
- Sauberer Betrieb:Schützt vor potenzieller ionischer Kontamination der Chemie
- Robuste Konstruktion:Starrwandkammer für eine lange Lebensdauer bei hohen Temperaturen
- Außergewöhnlich saubere Leistung:Eine dicke Fluorpolymerhülle verringert die Durchdringung bei Reinraumbestellungen
- Ausgezeichnete chemische Verträglichkeit:Alle mit Fluorpolymeren befeuchten Teile, die mit nahezu jeder chemischen Verbindung kompatibel sind
- Ausgezeichnete Temperaturbeständigkeit:Die geringe Wattdichte ermöglicht eine genaue Steuerung der Prozesstemperatur
Anwendungen
SC1: Ammoniumhydroxid (NH4OH) und Wasserstoffperoxid (H2O2)
SC2: Salzsäure (HCl) und Wasserstoffperoxid
Buffered Oxide Etch (BOE): Fluorwassersäure (HF) und Ammoniumfluorid (NH4F)
Nitrid-Ausdruck/Band: Phosphorsäure (H3PO4)
Verschiedene Säuren einschließlich Salzsäure (HCl), Fluorwasserstoffsäure (HF), Essigsäure (C2H4O2), Stickstoffsäure (HNO3), Schwefelsäure (H2SO4)
Schwefelsäure und Wasserstoffperoxid
Schwefelsäure und Ozon (O3)
Fluorwassersäure und Glykol (C2H6O2)
Kaliumhydroxid (KOH)
Natriumhydroxid (NaOH)
Elektroless Nickel, Kupfer und Gold
Deionisiertes Wasser
Einige Lösungsmittel (Fabrik für Beratung)
Spezifikationen
Dienstleistung:Chemische Inlineheizung mit allen mit Fluorpolymer befeuchteten Oberflächen
Höchstbetriebsdruck:100 PSIG (7 Bar) bei 25°C; 43 PSIG bei 180°C
Größe der Heizung:1,000 Watt bis zu 18,000 Watt
Heizungsspannungen:200 bis 600 Volt, ein- oder dreiphasig (12 kW und größer erfordern drei Phasen)
Wattdichte:10 Watt pro Quadratzoll (1,5 W/cm2)
Fluidverbindungen:1⁄4" (6mm) bis 1" (25mm) flacker; 1⁄2" (12mm) bis 1" (25mm) Super 300 Typ Pillar®; andere Verbindungen erhältlich
Zertifizierungen:CE, UL, Semi S2 und S3
Elemente reinigen:Kleine Menge an sauberer trockener Luft (CDA) oder N2-Gasströme zwischen dem Metall-Erdeelement und der PTFE-Hülle
Andere Anwendungen
Elektrochemische Ablagerung
Elektrochemische Ablagerung ist ein kostengünstiger Prozess, bei dem Oxidation und Reduktion verwendet werden, um Metall mit Elektrizität an eine Oberfläche zu kleben.
Elektrochemische Ablagerungsprodukte
MOTS Dreifach - senkrecht
L-förmige, vertikale Metall über der Seitenheizung. 3.000-36.000 Watt, 208-600 Volt.
9HS-Serie - Röhrig
Auf der Seite, 9-Element, Rohrheizung, dreiphasig, 9000-31500 Watt, 208-600 Volt.
V-Serie - Wärmeenergie
Metall- oder Fluorpolymer-Heizung (PTFE). Einphasige Heizung. Erhitzt bis zu 100 °C. 100-1000 Watt, 120-240 Volt.
MOTS Einzige
Chemische und kleine Tauchheizung: Metall über die Seite Einfachheizung. Ein- oder Dreiphasen. 1000-12000 Watt, 120-600 Volt.
MOTS SINGLE - DAS, PHOSPHAT
Top Portable Electric Immersion Heaters: Phosphat, Metall über der Seitenheizung. Ein- oder Dreiphasen. 1000-10000 Watt, 120-600 Volt.
MOTS Dreifach - L-geformt, abgeschnitten
Verringerte, geringe Wattdichte, L-förmige, Bodenmetall über der Seitenheizung. 1500-18000 Watt, 120-480 Volt.
Heizung mit hoher Reinheit
Wir haben mit Ultra-High-Purity-Prozessen konzipiert und liefern zuverlässige Heizungs- und Stromlösungen, die spezifischen Bedürfnissen entsprechen.
Produkte zur Ultra-Hochreinigkeitsheizung
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Bild |
| Inlineheater |
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| PFA-Linienheizung |
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| Inline-chemische Heizung |
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