Нагреватель для технологических жидкостей в полупроводниковой промышленности, нагреватели для химических веществ в линию с рамой из PTFE
Наш проточный химический нагреватель для полупроводников обеспечивает непревзойденную производительность при нагреве технологических жидкостей для полупроводников, обеспечивая более быстрое время нагрева и возможности быстрой установки.
Основные характеристики
- Более быстрый нагрев: Размеры однокамерного нагревателя до 18 кВт
- Быстрая установка: Индивидуальные подключения трубопроводов
- Длительный срок службы нагревателя: Запатентованная система продувки газом непрерывно удаляет химическую проницаемость для продления срока службы элемента
- Чистая работа: Защищает от потенциального ионного загрязнения химикатов
- Прочная конструкция: Толстостенная камера для длительного срока службы при высоких температурах
- Исключительно чистая производительность: Толстая фторполимерная оболочка минимизирует проницаемость при сборке в чистом помещении
- Выдающаяся химическая совместимость: Все смачиваемые детали из фторполимера совместимы практически с любыми химическими веществами
- Отличная температурная стабильность: Конструкция с низкой плотностью мощности обеспечивает точный контроль температуры процесса
Применение
SC1: гидроксид аммония (NH4OH) и перекись водорода (H2O2)
SC2: соляная кислота (HCl) и перекись водорода
Процесс травления буферным оксидом (BOE): плавиковая кислота (HF) и фторид аммония (NH4F)
Травление/удаление нитрида: фосфорная кислота (H3PO4)
Различные кислоты, включая соляную (HCl), плавиковую (HF), уксусную (C2H4O2), азотную (HNO3), серную (H2SO4)
Серная кислота и перекись водорода
Серная кислота и озон (O3)
Плавиковая кислота и гликоль (C2H6O2)
Гидроксид калия (KOH)
Гидроксид натрия (NaOH)
Электролитическое никелирование, меднение и золочение
Деионизированная вода
Некоторые растворители (проконсультируйтесь с заводом)
Технические характеристики
Обслуживание: Проточный химический нагреватель со всеми смачиваемыми поверхностями из фторполимера
Максимальное рабочее давление: 100 PSIG (7 бар) при 25°C; 43 PSIG при 180°C
Размеры нагревателя: От 1000 Вт до 18 000 Вт
Напряжение нагревателя: От 200 до 600 вольт, одно- или трехфазное (для 12 кВт и более требуется трехфазное)
Плотность мощности: 10 Вт на квадратный дюйм (1,5 Вт/см²)
Соединения для жидкости: От 1⁄4" (6 мм) до 1" (25 мм) раструбные; от 1⁄2" (12 мм) до 1" (25 мм) Super 300 Type Pillar®; доступны другие соединения
Сертификаты: CE, UL, Semi S2 и S3
Продувка элемента: Небольшое количество чистого сухого воздуха (CDA) или газа N2 протекает между металлическим заземленным элементом и оболочкой из PTFE
Другие области применения
Электрохимическое осаждение
Электрохимическое осаждение — это экономичный процесс, использующий окисление и восстановление для прилипания металла к поверхности с использованием электричества. Этот процесс также иногда называют гальваническим покрытием.
Продукты для электрохимического осаждения
MOTS TRIPLE - ВЕРТИКАЛЬНЫЙ
Г-образный, вертикальный нагреватель с металлическим боковым расположением. 3000–36000 Вт, 208–600 вольт.
СЕРИЯ 9HS - ТРУБЧАТЫЙ
Боковой, 9-элементный, трубчатый нагреватель. Трехфазный. 9000–31500 Вт, 208–600 вольт.
СЕРИЯ V - VARIPOWER
Нагреватель с металлической или фторполимерной (PTFE) оболочкой. Однофазный. Нагревает до 212°F (100°C). 100–1000 Вт, 120–240 вольт.
MOTS SINGLE
Химический и небольшой погружной нагреватель: металлический боковой однофазный нагреватель. Одно- или трехфазный. 1000–12000 Вт, 120–600 вольт.
MOTS SINGLE - DAS, ФОСФАТ
Верхние портативные электрические погружные нагреватели: фосфатный, металлический боковой нагреватель. Одно- или трехфазный. 1000–10000 Вт, 120–600 вольт.
MOTS TRIPLE - L-ОБРАЗНЫЙ, С ПОНИЖЕННОЙ МОЩНОСТЬЮ
С пониженной мощностью, низкая плотность мощности, L-образный, нижний металлический боковой нагреватель. 1500–18000 Вт, 120–480 вольт.
Нагрев сверхвысокой чистоты
Разработанные с учетом процессов сверхвысокой чистоты, мы предлагаем чистые, надежные решения для нагрева и питания, соответствующие конкретным потребностям.
Продукты для нагрева сверхвысокой чистоты
| Продукт |
Изображение |
| Проточный нагреватель |
|
| PFA проточный нагреватель |
|
| Проточный химический нагреватель |
|
