Нагреватель для полупроводниковых технологических жидкостей, проточные химические нагреватели с PTFE-каркасом
Наш проточный химический полупроводниковый нагреватель обеспечивает непревзойденную производительность для нагрева полупроводниковых технологических жидкостей с более быстрым временем нагрева и возможностью быстрой установки.
Ключевые особенности
- Быстрый нагрев: Размеры одной нагревательной камеры до 18 кВт
- Быстрая установка: Индивидуальные сантехнические соединения
- Длительный срок службы нагревателя: Запатентованная система продувки газом непрерывно удаляет химические примеси, продлевая срок службы нагревательного элемента
- Чистая работа: Защищает от потенциального ионного загрязнения химии
- Прочная конструкция: Толстостенная камера для длительного срока службы в высокотемпературных применениях
- Исключительно чистая работа: Толстая фторполимерная оболочка минимизирует проникновение примесей благодаря сборке в чистых помещениях
- Выдающаяся химическая совместимость: Все фторполимерные детали, контактирующие с рабочей средой, совместимы практически с любой химией
- Отличная температурная стабильность: Конструкция с низкой плотностью мощности обеспечивает точный контроль температуры процесса
Применение
SC1: гидроксид аммония (NH4OH) и пероксид водорода (H2O2)
SC2: соляная кислота (HCl) и пероксид водорода
Процесс травления буферным оксидом (BOE): плавиковая кислота (HF) и фторид аммония (NH4F)
Травление/удаление нитридов: фосфорная кислота (H3PO4)
Различные кислоты, включая соляную (HCl), плавиковую (HF), уксусную (C2H4O2), азотную (HNO3), серную (H2SO4)
Серная кислота и пероксид водорода
Серная кислота и озон (O3)
Плавиковая кислота и гликоль (C2H6O2)
Гидроксид калия (KOH)
Гидроксид натрия (NaOH)
Электролитическое никелирование, меднение и золочение
Деионизированная вода
Некоторые растворители (проконсультируйтесь с заводом-изготовителем)
Технические характеристики
Сервис: Проточный химический нагреватель со всеми фторполимерными поверхностями, контактирующими с рабочей средой
Максимальное рабочее давление: 100 фунтов на квадратный дюйм (7 бар) при 25°C; 43 фунтов на квадратный дюйм при 180°C
Размеры нагревателя: от 1000 Вт до 18000 Вт
Напряжение нагревателя: от 200 до 600 В, однофазное или трехфазное (12 кВт и более требуют трехфазного)
Плотность мощности: 10 Вт на квадратный дюйм (1,5 Вт/см²)
Соединения для жидкости: от 1/4" (6 мм) до 1" (25 мм) с фланцем; от 1/2" (12 мм) до 1" (25 мм) Super 300 Type Pillar®; доступны другие соединения
Сертификаты: CE, UL, Semi S2 и S3
Продувка элемента: Небольшое количество чистого сухого воздуха (CDA) или газа N2 протекает между заземленным металлическим элементом и PTFE-оболочкой
Другие применения
Электрохимическое осаждение
Электрохимическое осаждение — это экономически эффективный процесс, использующий окисление и восстановление для прикрепления металла к поверхности с помощью электричества. Процесс также иногда называют гальваническим покрытием.
Продукты для электрохимического осаждения
MOTS TRIPLE - ВЕРТИКАЛЬНЫЙ
L-образный вертикальный металлический погружной нагреватель. 3000-36000 Вт, 208-600 В.
9HS SERIES - ТРУБЧАТЫЙ
Погружной трубчатый нагреватель с 9 элементами. Трехфазный. 9000-31500 Вт, 208-600 В.
V SERIES - VARIPOWER
Нагреватель с металлической или фторполимерной (PTFE) оболочкой. Однофазный. Нагревает до 212°F (100°C). 100-1000 Вт, 120-240 В.
MOTS SINGLE
Химический и малый погружной нагреватель: одинарный металлический погружной нагреватель. Однофазный или трехфазный. 1000-12000 Вт, 120-600 В.
MOTS SINGLE - DAS, PHOSPHATE
Портативные электрические погружные нагреватели верхнего типа: фосфатный металлический погружной нагреватель. Однофазный или трехфазный. 1000-10000 Вт, 120-600 В.
MOTS TRIPLE - L-ОБРАЗНЫЙ, СНИЖЕННАЯ МОЩНОСТЬ
L-образный погружной нагреватель нижнего типа с пониженной мощностью и низкой плотностью мощности. 1500-18000 Вт, 120-480 В.
Нагрев сверхчистых материалов
Разработанные с учетом процессов сверхчистых материалов, мы предлагаем надежные решения для нагрева и электропитания, собранные в чистых помещениях, для удовлетворения конкретных потребностей.
Продукты для нагрева сверхчистых материалов
| Продукт |
Изображение |
| Проточный нагреватель |
|
| Проточный нагреватель PFA |
|
| Проточный химический нагреватель |
|
