Verwarmingsverwarming voor halfgeleiderprocesvloeistoffen, inline chemische verwarmingen met PTFE-frame
Onze inline chemische halfgeleiderverwarming levert ongeëvenaarde prestaties voor het verwarmen van halfgeleiderprocesvloeistoffen met snellere opwarmtijden en snelle installatiemogelijkheden.
Belangrijkste kenmerken
- Snellere opwarming: Enkele verwarmingskamergroottes tot 18 kW
- Snelle installatie: Aangepaste leidingaansluitingen
- Lange levensduur verwarming: Gepatenteerd gaszuiveringssysteem verwijdert continu chemische permeatie voor een langere levensduur van het element
- Schone werking: Beschermt tegen mogelijke ionische contaminatie van de chemie
- Robuuste constructie: Dikwandige kamer voor een lange levensduur in toepassingen bij hoge temperaturen
- Uitzonderlijk schone prestaties: Dikke fluorpolymeer mantel minimaliseert permeatie met cleanroom assemblage
- Uitstekende chemische compatibiliteit: Alle met fluorpolymeer bevochtigde delen compatibel met vrijwel elke chemie
- Uitstekende temperatuurstabiliteit: Laag watt-dichtheid ontwerp maakt nauwkeurige procesregeling van de temperatuur mogelijk
Toepassingen
SC1: ammoniumhydroxide (NH4OH) en waterstofperoxide (H2O2)
SC2: zoutzuur (HCl) en waterstofperoxide
Buffered oxide etch (BOE) proces: fluorwaterstofzuur (HF) en ammoniumfluoride (NH4F)
Nitride etsen/strippen: fosforzuur (H3PO4)
Diverse zuren waaronder zoutzuur (HCl), fluorwaterstofzuur (HF), azijnzuur (C2H4O2), salpeterzuur (HNO3), zwavelzuur (H2SO4)
Zwavelzuur en waterstofperoxide
Zwavelzuur en ozon (O3)
Fluorwaterstofzuur en glycol (C2H6O2)
Kaliumhydroxide (KOH)
Natriumhydroxide (NaOH)
Chemisch nikkel, koper en goud
Gedeïoniseerd water
Sommige oplosmiddelen (raadpleeg fabriek)
Specificaties
Service: Inline chemische verwarming met alle met fluorpolymeer bevochtigde oppervlakken
Maximale werkdruk: 100 PSIG (7 Bar) bij 25°C; 43 PSIG bij 180°C
Verwarmingsgroottes: 1.000 watt tot 18.000 watt
Verwarmingsspanningen: 200 tot 600 volt, een- of driefasig (12 kW en groter vereist driefasig)
Watt-dichtheid: 10 watt per vierkante inch (1,5 w/cm²)
Vloeistofaansluitingen: 1/4" (6 mm) tot 1" (25 mm) geflared; 1/2" (12 mm) tot 1" (25 mm) Super 300 Type Pillar®; andere aansluitingen beschikbaar
Certificeringen: CE, UL, Semi S2 en S3
Elementzuivering: Kleine hoeveelheid schone droge lucht (CDA) of N2-gas stroomt tussen het geaarde metalen element en de PTFE-mantel
Andere toepassingen
Elektrochemische afzetting
Elektrochemische afzetting is een kosteneffectief proces dat oxidatie en reductie gebruikt om metaal aan een oppervlak te hechten met behulp van elektriciteit. Het proces wordt ook wel galvaniseren genoemd.
Elektrochemische afzetting Producten
MOTS TRIPLE - VERTICAAL
L-vormige, verticale metalen over-de-rand verwarming. 3.000-36.000 watt, 208-600 volt.
9HS SERIE - TUBULAIR
Over-de-rand, 9-element, buisvormige verwarming. Driefasig. 9000-31500 watt, 208-600 volt.
V SERIE - VARIPOWER
Metalen of fluorpolymeer (PTFE) mantel verwarming. Eenfasig. Verwarmt tot 100°C (212°F). 100-1000 watt, 120-240 volt.
MOTS ENKEL
Chemische en kleine dompelverwarming: Metalen over-de-rand enkele verwarming. Een- of driefasig. 1000-12000 watt, 120-600 volt.
MOTS ENKEL - DAS, FOSFAAT
Draagbare elektrische dompelverwarmingen: Fosfaat, metalen over-de-rand verwarming. Een- of driefasig. 1000-10000 watt, 120-600 volt.
MOTS TRIPLE - L-VORMIG, GEDERATED
Gederate, lage watt-dichtheid, L-vormige, bodemstijl metalen over-de-rand verwarming. 1500-18000 watt, 120-480 volt.
Ultra-hoge-zuiverheid verwarming
Ontworpen met ultra-hoge-zuiverheid processen in gedachten, leveren we in cleanroom geassembleerde, betrouwbare verwarmings- en stroomoplossingen die aan specifieke behoeften voldoen.
Producten voor ultra-hoge-zuiverheid verwarming
| Product |
Afbeelding |
| Inline Verwarming |
|
| PFA Inline Verwarming |
|
| Inline Chemische Verwarming |
|
