Aquecedores de aquecimento por fluidos de processo de semicondutores, aquecedores químicos em linha de estrutura de PTFE
Nosso aquecedor de semicondutores químicos em linha oferece desempenho inigualável para aquecimento de fluidos de processo de semicondutores com tempos de aquecimento mais rápidos e capacidades de instalação rápidas.
Características fundamentais
- Aquecimento mais rápido:Dimensões das câmaras de aquecimento individuais até 18 kW
- Instalação rápida:Conexões de encanamento personalizadas
- Duração do aquecedor:O sistema de purga de gás patenteado remove continuamente a permeação química para prolongar a vida útil do elemento
- Função limpa:Protege contra a potencial contaminação iônica da química
- Construção resistente:Câmara de parede espessa para uma longa vida útil em aplicações de alta temperatura
- Performance excepcionalmente limpa:O revestimento grosso de fluoropolímero minimiza a permeabilidade com a montagem em sala limpa
- Compatibilidade química excepcional:Todas as peças umedecidas com fluoropolímero compatíveis com praticamente qualquer substância química
- Excelente estabilidade a temperaturas:O projeto de baixa densidade de watts permite um controle preciso da temperatura do processo
Aplicações
SC1: hidróxido de amónio (NH4OH) e peróxido de hidrogénio (H2O2)
SC2: ácido clorídrico (HCl) e peróxido de hidrogénio
Processo de gravação por óxido tamponado (BOE): ácido fluorídrico (HF) e fluoreto de amónio (NH4F)
Gravação/fixação de nitritos: ácido fosfórico (H3PO4)
Vários ácidos, incluindo o cloridrato (HCl), o fluoridrato (HF), o acético (C2H4O2), o nitrógeno (HNO3), o enxofre (H2SO4)
Ácido sulfúrico e peróxido de hidrogénio
Ácido sulfúrico e ozono (O3)
Ácido fluorídrico e glicol (C2H6O2)
Hidróxido de potássio (KOH)
Hidróxido de sódio (NaOH)
Níquel, cobre e ouro sem eletricidade
Água deionizada
Alguns solventes (fábrica de consultoria)
Especificações
Serviço:Aquecedor químico em linha com todas as superfícies umedecidas por fluoropolímero
Pressão máxima de funcionamento:100 PSIG (7 Bar) a 25°C; 43 PSIG a 180°C
Tamanhos do aquecedor:1,000 watts até 18,000 watts
Voltagem do aquecedor:200 a 600 volts, de fase única ou trifásica (12 kW e superior requer três fases)
Densidade de watts:10 watts por polegada quadrada (1,5w/cm2)
Conexões de fluidos:1⁄4" (6mm) a 1" (25mm) de largura; 1⁄2" (12mm) a 1" (25mm) Super 300 Type Pillar®; outras ligações disponíveis
Certificações:CE, UL, Semi S2 e S3
Purga de Elementos:Uma pequena quantidade de ar seco limpo (CDA) ou de gás N2 flui entre o elemento de aterramento metálico e a bainha de PTFE
Outras aplicações
Deposição eletroquímica
A deposição eletroquímica é um processo econômico que usa oxidação e redução para aderir o metal a uma superfície usando eletricidade.
Produtos de deposição eletroquímica
MOTS TRIPLE - VERTÍCULO
Em forma de L, metal vertical sobre o aquecedor lateral. 3.000-36.000 watts, 208-600 volts.
Série 9HS - TUBULAR
Do lado, aquecedor de 9 elementos, trifásico, 9000-31500 watts, 208-600 volts.
SÉRIE V - VARIÁRIA
Aquecedor de bainha de metal ou fluoropolímero (PTFE). Fase única. Aquece até 212 ° F (100 ° C). 100-1000 watts, 120-240 volts.
MOTS SINGLE
Aquecedor de imersão químico e pequeno: aquecedor de metal sobre o lado.
MOTS SINGLE - DAS, FOSFATO
Top aquecedores de imersão elétricos portáteis: fosfato, metal sobre o aquecedor lateral.
MOTS TRIPLE - L-formado, deratado
Baixa densidade de watts, em forma de L, de metal no fundo do aquecedor lateral. 1500-18000 watts, 120-480 volts.
Aquecimento de ultra-alta pureza
Projetados com processos de ultra-alta pureza em mente, fornecemos soluções de aquecimento e energia confiáveis, montadas em salas limpas, para atender às necessidades específicas.
Produtos para aquecimento de ultraalta pureza
| Produto |
Imagem |
| Aquecedor em linha |
|
| Aquecedor de linha PFA |
|
| Aquecedor químico em linha |
|
