Aquecedor de Fluido para Processo de Semicondutores, Aquecedores Químicos em Linha com Estrutura de PTFE
Nosso aquecedor químico em linha para semicondutores oferece desempenho inigualável para aquecimento de fluidos em processos de semicondutores, com tempos de aquecimento mais rápidos e capacidades de instalação rápidas.
Principais Características
- Aquecimento mais rápido: Tamanhos de câmara de aquecedor único de até 18kW
- Instalação rápida: Conexões de encanamento personalizadas
- Longa vida útil do aquecedor: Sistema patenteado de purga de gás remove continuamente a permeação química para uma vida útil estendida do elemento
- Operação limpa: Protege contra potencial contaminação iônica da química
- Construção robusta: Câmara de parede espessa para longa vida útil em aplicações de alta temperatura
- Desempenho excepcionalmente limpo: Revestimento espesso de fluoropolímero minimiza a permeação com montagem em sala limpa
- Compatibilidade química excepcional: Todas as peças molhadas de fluoropolímero são compatíveis com praticamente qualquer química
- Excelente estabilidade de temperatura: O design de baixa densidade de potência permite controle preciso da temperatura do processo
Aplicações
SC1: hidróxido de amônio (NH4OH) e peróxido de hidrogênio (H2O2)
SC2: ácido clorídrico (HCl) e peróxido de hidrogênio
Processo de ataque de óxido tamponado (BOE): ácido fluorídrico (HF) e fluoreto de amônio (NH4F)
Ataque/remoção de nitreto: ácido fosfórico (H3PO4)
Vários ácidos incluindo clorídrico (HCl), fluorídrico (HF), acético (C2H4O2), nítrico (HNO3), sulfúrico (H2SO4)
Ácido sulfúrico e peróxido de hidrogênio
Ácido sulfúrico e ozônio (O3)
Ácido fluorídrico e glicol (C2H6O2)
Hidróxido de potássio (KOH)
Hidróxido de sódio (NaOH)
Níquel, cobre e ouro sem eletrodeposição
Água deionizada
Alguns solventes (consulte a fábrica)
Especificações
Serviço: Aquecedor químico em linha com todas as superfícies molhadas de fluoropolímero
Pressão Máxima de Trabalho: 100 PSIG (7 Bar) a 25°C; 43 PSIG a 180°C
Tamanhos do Aquecedor: 1.000 watts até 18.000 watts
Tensões do Aquecedor: 200 a 600 volts, monofásico ou trifásico (12kW e acima requer trifásico)
Densidade de Potência: 10 watts por polegada quadrada (1,5w/cm²)
Conexões de Fluido: 1/4" (6mm) a 1" (25mm) flare; 1/2" (12mm) a 1" (25mm) Super 300 Tipo Pillar®; outras conexões disponíveis
Certificações: CE, UL, Semi S2 e S3
Purga do Elemento: Pequena quantidade de ar seco limpo (CDA) ou gás N2 flui entre o elemento aterrado metálico e o revestimento de PTFE
Outras Aplicações
Deposição Eletroquímica
A Deposição Eletroquímica é um processo econômico que utiliza oxidação e redução para aderir metal a uma superfície usando eletricidade. O processo também é às vezes referido como Galvanoplastia.
Produtos de Deposição Eletroquímica
MOTS TRIPLE - VERTICAL
Aquecedor em L, vertical, metal por cima da lateral. 3.000-36.000 watts, 208-600 volts.
SÉRIE 9HS - TUBULAR
Aquecedor tubular de 9 elementos, por cima da lateral. Trifásico. 9000-31500 watts, 208-600 volts.
SÉRIE V - VARIPOWER
Aquecedor com revestimento de metal ou fluoropolímero (PTFE). Monofásico. Aquece até 212°F (100°C). 100-1000 watts, 120-240 volts.
MOTS SINGLE
Aquecedor de Imersão Químico e Pequeno: Aquecedor metálico por cima da lateral. Monofásico ou trifásico. 1000-12000 watts, 120-600 volts.
MOTS SINGLE - DAS, FOSFATO
Aquecedores Elétricos Portáteis de Imersão Superior: Fosfato, aquecedor metálico por cima da lateral. Monofásico ou trifásico. 1000-10000 watts, 120-600 volts.
MOTS TRIPLE - EM L, DERATED
Aquecedor metálico por cima da lateral, estilo inferior, em L, com baixa densidade de potência. 1500-18000 watts, 120-480 volts.
Aquecimento de Ultra-Alta Pureza
Projetados com processos de Ultra-Alta Pureza em mente, fornecemos soluções de aquecimento e energia confiáveis, montadas em sala limpa, para atender a necessidades específicas.
Produtos para Aquecimento de Ultra-Alta Pureza
| Produto |
Imagem |
| Aquecedor em Linha |
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| Aquecedor em Linha PFA |
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| Aquecedor Químico em Linha |
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