Calentador de fluidos de proceso de semiconductores, calentadores químicos en línea de marco de PTFE
Nuestro calentador de semiconductores químicos en línea ofrece un rendimiento inigualable para el calentamiento de fluidos de procesos de semiconductores con tiempos de calentamiento más rápidos y capacidades de instalación rápidas.
Características clave
- Calentamiento más rápido:Tamaños de cámaras de calefacción individuales de hasta 18 kW
- Instalación rápida:Conexiones de plomería personalizadas
- Larga duración del calentador:Sistema de purga de gas patentado elimina continuamente la permeación química para prolongar la vida útil del elemento
- Funcionamiento limpio:Protege contra la posible contaminación iónica de la química
- Construcción resistente:Cámara de paredes gruesas para una larga vida útil en aplicaciones de alta temperatura
- Rendimiento excepcionalmente limpio:La cubierta de fluoropolímero gruesa minimiza la permeabilidad con el ensamblaje de la sala limpia
- Compatibilidad química excepcional:Todas las piezas humedecidas con fluoropolímero compatibles con prácticamente cualquier química
- Excelente estabilidad a la temperatura:El diseño de baja densidad de vatios permite un control preciso de la temperatura del proceso
Aplicaciones
SC1: hidróxido de amonio (NH4OH) y peróxido de hidrógeno (H2O2)
SC2: ácido clorhídrico y peróxido de hidrógeno
Proceso de grabado de óxido tamponado (BOE): ácido fluorhídrico (HF) y fluoruro de amonio (NH4F)
En el caso de los productos con un contenido de nitruro superior al 0,5% en peso, el contenido de nitruro superior al 0,5% en peso debe ser el mismo que el contenido de nitruro superior al 0,5% en peso.
Varios ácidos, incluidos el clorhídrico (HCl), el fluorhídrico (HF), el acético (C2H4O2), el nítrico (HNO3), el sulfúrico (H2SO4)
Ácido sulfúrico y peróxido de hidrógeno
Ácido sulfúrico y ozono (O3)
Ácido fluorhídrico y glicol (C2H6O2)
Hidróxido de potasio (KOH)
Hidróxido de sodio (NaOH)
Níquel sin electro, cobre y oro
Agua desionizada
Algunos disolventes (fábrica de consultoría)
Especificaciones
Servicio:Calentador químico en línea con todas las superficies humedecidas por fluoropolímero
Presión de trabajo máxima:100 PSIG (7 Bar) a 25 °C; 43 PSIG a 180 °C
Tamaños de los calentadores:1,000 vatios hasta 18,000 vatios
Voltagem del calentador:200 a 600 voltios, de fase única o trifásica (12 kW o más requieren tres fases)
Densidad de vatios:10 vatios por pulgada cuadrada (1.5w/cm2)
Conexiones de fluidos:1⁄4" (6 mm) a 1" (25 mm) de flare; 1⁄2" (12 mm) a 1" (25 mm) Super 300 tipo de pilar®; otras conexiones disponibles
Las certificaciones:CE, UL, Semi S2 y S3
Purga de Elementos:Entre el elemento a tierra metálico y la envoltura de PTFE fluye una pequeña cantidad de aire seco limpio (CDA) o de gas N2.
Otras aplicaciones
Deposición electroquímica
La deposición electroquímica es un proceso rentable que utiliza la oxidación y la reducción para adherir el metal a una superficie utilizando electricidad.
Productos de deposición electroquímica
MOTS TRIPLE - Vertical es el nombre de la línea de mando.
En forma de L, metal vertical sobre el calentador lateral. 3.000-36.000 vatios, 208-600 voltios.
SERRÍA 9HS - Tubular
Por el lado, 9 elementos, calefacción tubular, tres fases, 9000-31500 vatios, 208-600 voltios.
Serie V - Energía renovable
Calentador de cubierta de metal o fluoropolímero (PTFE). Fase única. Calienta hasta 212 ° F (100 ° C). 100-1000 vatios, 120-240 voltios.
MOTS SINGLE
Calentador químico y de inmersión pequeña: calentador de metal sobre el lado.
MOTS SINGLE - DAS, FOSFATO El contenido de MOTS es el mismo que el de DAS, FOSFATO
Los mejores calentadores de inmersión eléctricos portátiles: fosfato, metal sobre el calentador lateral.
MOTS TRIPLE - L formado, derratado
Baja densidad de vatios, en forma de L, estilo de metal en el fondo sobre el calentador lateral. 1500-18000 vatios, 120-480 voltios.
Calentamiento de ultraalta pureza
Diseñados con procesos de Ultra-Alta Pureza en mente, ofrecemos soluciones de calefacción y energía fiables y ensambladas en salas limpias para satisfacer necesidades específicas.
Productos para calefacción de ultraalta pureza
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| Calentador en línea |
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| Calentador en línea PFA |
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| Calentador químico en línea |
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