Calentador de fluidos de proceso de semiconductores, calentadores químicos en línea con marco de PTFE
Nuestro calentador químico en línea para semiconductores ofrece un rendimiento inigualable para el calentamiento de fluidos de proceso de semiconductores con tiempos de calentamiento más rápidos y capacidades de instalación rápida.
Características principales
- Calentamiento más rápido:Tamaños de cámara de calentamiento individuales de hasta 18kW
- Instalación rápida:Conexiones de fontanería personalizadas
- Larga vida útil del calentador:El sistema patentado de purga de gas elimina continuamente la permeación química para una vida útil prolongada del elemento
- Funcionamiento limpio:Protege contra la posible contaminación iónica de la química
- Construcción robusta:Cámara de paredes gruesas para una larga vida útil en aplicaciones de alta temperatura
- Rendimiento excepcionalmente limpio:La funda de fluoropolímero gruesa minimiza la permeación con montaje en sala blanca
- Excelente compatibilidad química:Todas las piezas en contacto con fluoropolímero son compatibles con prácticamente cualquier química
- Excelente estabilidad de temperatura:El diseño de baja densidad de vatios permite un control preciso de la temperatura del proceso
Aplicaciones
SC1: hidróxido de amonio (NH4OH) y peróxido de hidrógeno (H2O2)
SC2: ácido clorhídrico (HCl) y peróxido de hidrógeno
Proceso de grabado de óxido tamponado (BOE): ácido fluorhídrico (HF) y fluoruro de amonio (NH4F)
Grabado/eliminación de nitruro: ácido fosfórico (H3PO4)
Varios ácidos, incluidos clorhídrico (HCl), fluorhídrico (HF), acético (C2H4O2), nítrico (HNO3), sulfúrico (H2SO4)
Ácido sulfúrico y peróxido de hidrógeno
Ácido sulfúrico y ozono (O3)
Ácido fluorhídrico y glicol (C2H6O2)
Hidróxido de potasio (KOH)
Hidróxido de sodio (NaOH)
Níquel, cobre y oro sin electrodos
Agua desionizada
Algunos disolventes (consulte a la fábrica)
Especificaciones
Servicio:Calentador químico en línea con todas las superficies en contacto con fluoropolímero
Presión máxima de trabajo:100 PSIG (7 Bar) a 25°C; 43 PSIG a 180°C
Tamaños de calentador:1000 vatios hasta 18.000 vatios
Voltajes del calentador:200 a 600 voltios, monofásico o trifásico (12kW y mayores requieren trifásico)
Densidad de vatios:10 vatios por pulgada cuadrada (1,5w/cm²)
Conexiones de fluidos:1⁄4" (6 mm) a 1" (25 mm) abocardado; 1⁄2" (12 mm) a 1" (25 mm) Super 300 Type Pillar®; otras conexiones disponibles
Certificaciones:CE, UL, Semi S2 y S3
Purga de elementos:Una pequeña cantidad de aire seco limpio (CDA) o gas N2 fluye entre el elemento metálico conectado a tierra y la funda de PTFE
Otras aplicaciones
Deposición electroquímica
La deposición electroquímica es un proceso rentable que utiliza la oxidación y la reducción para adherir metal a una superficie mediante electricidad. El proceso también se conoce a veces como electrochapado.
Productos de deposición electroquímica
MOTS TRIPLE - VERTICAL
Calentador vertical metálico en forma de L sobre el lateral. 3.000-36.000 vatios, 208-600 voltios.
SERIE 9HS - TUBULAR
Calentador tubular de 9 elementos sobre el lateral. Trifásico. 9000-31500 vatios, 208-600 voltios.
SERIE V - VARIPOWER
Calentador con funda de metal o fluoropolímero (PTFE). Monofásico. Calienta hasta 212°F (100°C). 100-1000 vatios, 120-240 voltios.
MOTS SINGLE
Calentador químico y de inmersión pequeño: calentador individual metálico sobre el lateral. Monofásico o trifásico. 1000-12000 vatios, 120-600 voltios.
MOTS SINGLE - DAS, FOSFATO
Calentadores de inmersión eléctricos portátiles superiores: fosfato, calentador metálico sobre el lateral. Monofásico o trifásico. 1000-10000 vatios, 120-600 voltios.
MOTS TRIPLE - EN FORMA DE L, DESCLASIFICADO
Calentador metálico sobre el lateral de estilo inferior en forma de L, de baja densidad de vatios y desclasificado. 1500-18000 vatios, 120-480 voltios.
Calentamiento de ultra alta pureza
Diseñado teniendo en cuenta los procesos de ultra alta pureza, ofrecemos soluciones de calefacción y energía confiables y ensambladas en sala blanca para satisfacer necesidades específicas.
Productos para calentamiento de ultra alta pureza
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Imagen |
| Calentador en línea |
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| Calentador en línea PFA |
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| Calentador químico en línea |
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