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| 起源の場所: | 中国 |
| ブランド名: | Surplus |
| 証明: | ISO9001,CE |
| モデル番号: | インラインヒーター037 |
インラインヒーターは、高温の超高純度プロセスに最適です。これらは、攻撃的な化学物質との最適な適合性を実現する PFA 流路を備えています。特殊な内部フィッティングにより O リングシールが不要になり、清浄度が向上します。低ワット密度の低質量発熱体を利用して、高速で強力な温度応答を実現します。
PFA インライン ヒーターは、フッ化水素酸 (HF)、水酸化カリウム (KOH)、および PFA と互換性のあるその他の化学薬品用に設計されています。
これらの PFA ヒーターは、性能と信頼性を最大限に高めながら、広く受け入れられている高純度材料を極限まで動作させます。
当社は、高純度液体の加熱を再び新しいレベルの性能と信頼性へと引き上げました。
当社は、高純度液体の加熱を再び新しいレベルの性能と信頼性へと引き上げました。高純度の材料を使用した液体を過酷な環境で加熱するには、経験からしか得られない特別な技術と知識が必要です。 40 年以上にわたり、当社のエンジニアは加熱石英バスの改良と改良を行っており、半導体および関連業界の重要なニーズを理解しています。その知識の総計が PFA インライン ヒーターに組み込まれ、性能だけでなく設置とメンテナンスも簡素化する製品が生み出されました。長年にわたる ISO 9001 登録に代表されるように、当社の製造プロセス管理への取り組みは、お客様が均一で高品質な製品をタイムリーに受け取ることを保証します。当社は、ほぼすべてのアプリケーションに簡単に統合できるよう、幅広い標準モデルとカスタム モデルを提供しています。
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ヒータ
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PFA インラインケミカルヒーター
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ワット数
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1.5～12kW
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プロセスケミストリー
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希フッ化水素酸 (DHF)、
緩衝フッ化水素酸 (BHF)、 バッファー酸化膜エッチング (BOE)、 アルカリ性化学薬品 (TMAH、KOH、NAOH)、 フッ素系溶剤、 フッ化水素酸、 グリコールなど。 |
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最高動作温度
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180°C (工場にお問い合わせください)
高温用） |
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最大圧力
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180℃で40 psi
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電圧
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AC200-400V、
単相または三相 モデルに依存する |
1997 年以来、サープラスは超高純度加熱の業界リーダーとして、PVDF、PTFE、および PFA インライン流体ヒーターへの道を切り開いてきました。新しいテクノロジーにより、約 50 年を経て、当社は PFA インライン ヒーターの HC シリーズで従来の設計を改善し、高温、清浄度の向上、寿命の延長、信頼性の向上などを実現しました。ヒーターも引き続きサポートさせていただきます。詳細についてはお問い合わせください。
産業
対象製品陽極酸化処理 |
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MOT シングル – ボトム、ディレーテッド 。
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モッツ トリプル – L 字型
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6HS シリーズ – チューブラー
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モッツトリプル – ディープタンク
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モッツトリプル – ディープタンク 深いタンク、側面ヒーターの上に金属。三相。最大 300°F (149°C) まで加熱します。単相または三相。 18000～54000ワット、208～600ボルト。 |
G(グリッド)シリーズコイル
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| 9HXシリーズ 低ワット密度、9 要素のフッ素ポリマー (PTFE) スリーブ付き 304 ステンレス要素はほとんどの溶液に対して不活性です。三相。 3000～18000ワット、208～600ボルト。 |
6HXシリーズ 低ワット密度、6 要素のフッ素ポリマー (PTFE) スリーブ付き 304 ステンレス要素はほとんどの溶液に対して不活性です。三相。 2000～12000ワット、208～600ボルト。 |
3HXOLシリーズ 低ワット密度、3 エレメント、ボトムヒーター。フッ素ポリマー (PTFE) スリーブ付き 304 ステンレス要素はほとんどの溶液に対して不活性です。 3000～18000ワット、208～480ボルト。
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| HXFシリーズ 低ワット密度のスパイラルヒーター。フッ素ポリマー (PTFE) スリーブ付き 304 ステンレスエレメントは、ほとんどの溶液に対して不活性です。 500 ～ 6000 ワット、120 ～ 600 ボルト。 |
HXシリーズ 低ワット密度、スパイラル。フッ素ポリマー (PTFE) スリーブ付き 304 ステンレス要素はほとんどの溶液に対して不活性です。単相。 500～9000ワット、120～600ボルト。 |
3HXシリーズ
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高温DIWはウェーハを効果的に洗浄します
硫酸を使用する洗浄プロセス (つまり、拡散前洗浄とレジスト剥離) では、歩留まりやスループットに影響を与える可能性のある化学粒子が残留します。 H2SO4 分子の移動と核形成により、わずか 48 時間で微粒子が生成されます。この問題に対処するための望ましくない手順は次のとおりです。
• 化学洗浄、つまりフッ化水素 (HF) リンスや RCA 洗浄プロセスでは、さらに有害な化学廃棄物が生成されます。
• 冷却した DIW を複数回リンスすると、高価な DIW が無駄になります。
• 冷たいDIバス内でウェーハを機械的に撹拌すると、ロボット工学を使用した冷たいウェーハのリンスにエネルギーが追加されますが、これには多大なメンテナンスが必要です。
細菌汚染を軽減し、プロセス収率を向上
湿式プロセス ステーションは、DIW の少量または断続的な流れ、浮遊バクテリア、フィルターからの相互汚染によって引き起こされるバクテリアの増殖にとって優れた環境です。
DIW を 90°C に加熱すると、ステーションのコンポーネントを分解したり、危険な化学物質を使用したりすることなく、内部配管を消毒できます。これにより、化学消毒に必要なダウンタイムとそれに伴う人件費も削減されます。細菌汚染を減らすと生産収率が向上します。
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