より速い加熱:最大18kWのシングルヒーターチャンバーサイズ。
迅速な設置:カスタマイズされた配管接続
所有コスト(COO)削減のための長いヒーター寿命:
特許取得済みのヒーターガスパージシステムは、化学物質の浸透を継続的に除去し、長いエレメント寿命を保証します。
長いヒーター寿命とクリーンな動作:特許取得済みのヒーターガスパージシステムは、化学物質の浸透を継続的に除去し、非常に長いエレメント寿命を保証します。このシステムは、化学物質の潜在的なイオン汚染からも保護します。
堅牢な構造:厚肉チャンバーは、最も過酷な高温用途で長い耐用年数を提供します。
非常にクリーンな性能:厚いフッ素ポリマーシースは浸透を最小限に抑えます。エレメントパージモニタリングは、イオン汚染の可能性を最小限に抑えます。クリーンルームでの組み立てとテストにより、最高の製造基準が保証されます。
優れた耐薬品性:すべてのフッ素ポリマー接液部は、事実上すべての化学物質と互換性があります。
優れた温度安定性:低ワット密度設計により、プロセスの温度を正確に制御できます。
最大210℃までの半導体プロセス流体の比類のない加熱。
特許取得済みのヒーターガスパージシステムは、長いエレメント寿命と所有コストの削減を保証します。
厚肉チャンバーは、最も過酷な高温用途で長い耐用年数を提供します。
エレメントパージモニタリングは、イオン汚染の可能性を最小限に抑えます。クリーンルームでの組み立てとテストにより、最高の製造基準が保証されます。
すべてのフッ素ポリマー接液部は、事実上すべての化学物質との優れた互換性を提供します。
低ワット密度設計により、プロセスの温度を正確かつ安定的に制御できます。
PVDF高温取り付けブラケット(高温モデル)
オプション:
水平取り付け構成
一体型冷却コイル
100オームRTDまたは「J」、「K」、または「E」タイプのプロセスおよび
エレメント熱電対
特殊用途向け低ワット密度ヒーター
ヒーター
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PFAインライン化学ヒーター
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ワット数
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1.5〜12kW
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プロセス化学物質
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希フッ酸(DHF)、
緩衝フッ酸(BHF)、 緩衝酸化物エッチング(BOE)、 アルカリ性化学物質(TMAH、KOH、NAOH)、 フッ素化溶剤、 フッ酸、 グリコールなど。 |
最高使用温度
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180℃(工場にご相談ください
より高い温度の場合) |
最高圧力
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180℃で40psi
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電圧
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200〜400VAC、
単相または3相 モデル依存 |
業界
テフロンライニング溶接タンク、小型テフロンライニング容器、ミキサーPTFEライニング容器など、以下のPTFEテフロンライニングタンクで対応できます。
使用材料:PTFE、PFA、FEP、ECTFE、PVDFエッチングまたはガラス裏地。
酸またはアルカリを保管できます
高温耐性
カスタムサイズまたはPFA出口とPFA入口を設置することもできます
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