PFAインラインヒーターは、フッ酸(HF)、水酸化カリウム(KOH)、およびPFAと互換性のあるその他の化学物質用に設計されています。
これらのPFAヒーターは、広く受け入れられている高純度材料を動作の極限まで押し上げ、性能と信頼性を最大化します。
当社は、高純度液体の加熱を新たなレベルの性能と信頼性へと再び引き上げました。
当社は、高純度液体の加熱を新たなレベルの性能と信頼性へと再び引き上げました。過酷な環境下で高純度材料を使用して液体を加熱するには、経験からしか得られない特別なスキルと知識が必要です。40年以上にわたり、当社のエンジニアは加熱石英バスを改良し、改善を重ね、半導体および関連業界の重要なニーズを理解してきました。その知識の集大成がPFAインラインヒーターに組み込まれ、性能を発揮するだけでなく、設置とメンテナンスも簡素化する製品を生み出しました。長年のISO 9001登録が示すように、製造プロセス管理への当社の献身は、お客様が均一な高品質の製品をタイムリーに受け取ることを保証します。当社は、ほぼすべてのアプリケーションに簡単に統合できるように、幅広い標準モデルとカスタムモデルを提供しています。
ヒーター
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PFAインライン化学ヒーター
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ワット数
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1.5~12 kW
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プロセス化学物質
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希フッ酸(DHF)、
緩衝フッ酸(BHF)、 緩衝酸化物エッチング(BOE)、 アルカリ性化学物質(TMAH、KOH、NAOH)、 フッ素化溶剤、 フッ酸、 グリコールなど。 |
最高動作温度
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180℃(工場にご相談ください
より高い温度の場合) |
最大圧力
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180℃で40 psi
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電圧
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200~400VAC、
単相または3相 モデル依存 |
業界
製品陽極酸化 |
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MOTS SINGLE – BOTTOM、DERATED MOTS TRIPLE – L SHAPED
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L字型、ボトムスタイルの金属オーバーサイドヒーター。三相。単相または三相。3000~36000ワット、200~600ボルト。
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オーバーサイド、6エレメント、管状ヒーター。三相。6000~21000ワット、208~600ボルト。
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ディープタンク、金属オーバーサイドヒーター。三相。最大300°F(149°C)まで加熱。単相または三相。18000~54000ワット、208~600ボルト。 |
ディープタンク、金属オーバーサイドヒーター。三相。最大300°F(149°C)まで加熱。単相または三相。18000~54000ワット、208~600ボルト。 G(GRID)SERIES COIL ![]() |
大型タンク用の効率的な水平、垂直、L字型浸漬コイル。スチール、316ステンレススチール、チタンで利用可能。 |
低ワット密度、9エレメントフッ素ポリマー(PTFE)スリーブ304ステンレスエレメント、ほとんどの溶液に不活性。三相。3000~18000ワット、208~600ボルト。 6HX SERIES ![]() |
低ワット密度、6エレメントフッ素ポリマー(PTFE)スリーブ304ステンレスエレメント、ほとんどの溶液に不活性。三相。2000~12000ワット、208~600ボルト。 3HXOL SERIES ![]() |
低ワット密度、3エレメント、ボトムヒーター。フッ素ポリマー(PTFE)スリーブ304ステンレスエレメント、ほとんどの溶液に不活性。3000~18000ワット、208~480ボルト。 HXF SERIES
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低ワット密度、スパイラルヒーター。フッ素ポリマー(PTFE)スリーブ304ステンレスエレメント、ほとんどの溶液に不活性。500~6000ワット、120~600ボルト。 HX SERIES ![]() |
低ワット密度、スパイラル。フッ素ポリマー(PTFE)スリーブ304ステンレスエレメント、ほとんどの溶液に不活性。単相。500~9000ワット、120~600ボルト。 3HX SERIES ![]() |
低ワット密度、3エレメントヒーター。フッ素ポリマー(PTFE)スリーブ304ステンレスエレメント、ほとんどの溶液に不活性。三相。1000~6000ワット、120~600ボルト。 |
は、液体全体を加熱するのではなく、パイプまたはチューブ内を流れる液体を加熱するデバイスです。これらのヒーターは、使用時点で液体を迅速に加熱するように設計されており、より速い加熱、熱損失の低減、および効率の向上などの利点を提供します。これらは、半導体製造、化学処理、および流体処理などのプロセスで、化学物質、溶剤、およびその他の流体を加熱するために、産業環境で一般的に使用されています。インライン化学ヒーターの主な機能と利点:
高速加熱:
インラインヒーターは、連続的な流体の流れを迅速に加熱できるため、加熱された液体を使用する前に、タンク全体が目的の温度に達するのを待つ必要がありません。
使用時点での加熱:
液体は必要な場所で直接加熱されるため、熱損失とエネルギー消費を最小限に抑えます。
効率的なエネルギー使用:
流れる液体に熱を集中させることで、大量の液体を加熱する場合と比較してエネルギーの無駄を削減します。
多様なアプリケーション:
インラインヒーターは、さまざまな化学物質、溶剤、および温度に対応するために、さまざまな設計と材料で利用できます。
材料の互換性:
多くのインラインヒーターは、耐食性と化学反応に抵抗するために、ステンレス鋼、フッ素ポリマー(PFA/PTFE)、石英、およびチタンなどの材料で作られています。
安全機能:
一部のインラインヒーターは、化学物質の浸透を除去するためのガスパージ、温度センサー、およびさまざまな条件下での安全な操作のための自己制限技術などの機能を組み込んでいます。
カスタマイズ:
シングルパスまたは再循環アプリケーション、さまざまな電力出力、およびさまざまな流体接続のオプションにより、特定のプロセスニーズに合わせてカスタマイズできます。
低ワット数オプション:
一部のインラインヒーターは低ワット数用に設計されており、精密な温度制御を維持することが不可欠な、デリケートな化学物質やアプリケーションに適しています。
インライン化学ヒーターの用途:
半導体製造:
ウェーハの洗浄、レジストの剥離、およびさまざまなプロセスステップのための化学物質の加熱。
化学処理:
化学反応、混合、およびその他のプロセスステップの加熱と温度維持。
溶剤処理:
洗浄、抽出、およびその他のアプリケーションでの使用のための溶剤の加熱。
超高純度(UHP)アプリケーション:
超高純度材料用に設計されたインラインヒーターは、脱イオン水加熱、製薬製造、および高度材料科学などのプロセスに不可欠です。