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Inline-Heizungen sind ideal für hochreine Hochtemperaturprozesse. Sie verfügen über PFA-Flusswege für optimale Kompatibilität mit aggressiven Chemikalien. Ihre spezielle Innenausstattung macht O-Ring-Dichtungen überflüssig und sorgt so für mehr Sauberkeit. Sie nutzen das massearme Heizelement mit geringer Wattdichte, um eine schnelle und leistungsstarke Temperaturreaktion zu ermöglichen.
PFA-Durchlauferhitzer sind für Flusssäure (HF), Kaliumhydroxid (KOH) und andere mit PFA kompatible Chemikalien ausgelegt.
Diese PFA-Heizungen bringen weithin akzeptierte hochreine Materialien auf maximale Betriebsbedingungen und maximieren gleichzeitig Leistung und Zuverlässigkeit.
Wir haben die Erwärmung hochreiner Flüssigkeiten erneut auf ein neues Leistungs- und Zuverlässigkeitsniveau gebracht.
Wir haben das Erhitzen hochreiner Flüssigkeiten erneut auf ein neues Leistungs- und Zuverlässigkeitsniveau gebracht. Das Erhitzen von Flüssigkeiten mit hochreinen Materialien in einer rauen Umgebung erfordert besondere Fähigkeiten und Kenntnisse, die nur durch Erfahrung gewonnen werden können. Seit über 40 Jahren verfeinern und verbessern unsere Ingenieure das beheizte Quarzbad und verstehen die kritischen Anforderungen der Halbleiterindustrie und verwandter Branchen. Die Summe dieses Wissens ist in die PFA-Inline-Heizung eingeflossen, um Produkte zu schaffen, die nicht nur Leistung erbringen, sondern auch Installation und Wartung vereinfachen. Unsere langjährige ISO 9001-Registrierung zeigt, dass unser Engagement für die Kontrolle des Fertigungsprozesses dafür sorgt, dass unsere Kunden zeitnah Produkte von gleichbleibend hoher Qualität erhalten. Wir bieten eine große Auswahl an Standard- und kundenspezifischen Modellen an, die eine einfache Integration in nahezu jede Anwendung ermöglichen.
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Heizung
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Chemischer Inline-Heizer aus PFA
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Wattzahlen
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1,5-12 kW
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Prozesschemie
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Verdünnte Flusssäuren (DHF),
Gepufferte Flusssäuren (BHF), Gepufferte Oxidätzung (BOE), Alkalische Chemikalien (TMAH, KOH, NAOH), Fluorierte Lösungsmittel, Flusssäure, Glykol und vieles mehr. |
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Maximale Betriebstemperatur
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180°C (wenden Sie sich an das Werk
für höhere Temperaturen) |
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Maximaler Druck
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40 psi bei 180 °C
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Spannungen
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200-400VAC,
ein- oder dreiphasig Modellabhängig |
Seit 1997 ist Surplus ein Branchenführer im Bereich der Reinstheizung und ebnet den Weg für PVDF-, PTFE- und PFA-Inline-Flüssigkeitserhitzer. Mit neuer Technologie und fast einem halben Jahrzehnt später haben wir mit der HC-Serie von PFA-Inline-Heizgeräten die alten Designs verbessert und bieten höhere Temperaturen, verbesserte Sauberkeit, längere Lebensdauer, verbesserte Zuverlässigkeit und mehr. Wir unterstützen weiterhin Heizgeräte. Kontaktieren Sie uns für Details.
Branchen
Produkte fürEloxieren |
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MOTS SINGLE – UNTEN, DERATED .
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MOTS TRIPLE – L-FORM
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6HS-SERIE – ROHRFÄHIG
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MOTS TRIPLE – TIEFER TANK
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MOTS TRIPLE – TIEFER TANK Tiefer Tank, Metall über der Seitenheizung. Dreiphasig. Erhitzt sich auf bis zu 149 °C. Ein- oder dreiphasig. 18000–54000 Watt, 208–600 Volt. |
SPULE DER SERIE G (GITTER).
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| 9HX-SERIE Niedrige Wattdichte, mit 9 Elementen aus Fluorpolymer (PTFE) ummantelte 304-Edelstahlelemente, die gegenüber den meisten Lösungen inert sind. Dreiphasig. 3000–18000 Watt, 208–600 Volt. |
6HX-SERIE Mit 6 Elementen aus Fluorpolymer (PTFE) ummantelte 304-Edelstahlelemente mit geringer Wattdichte, die gegenüber den meisten Lösungen inert sind. Dreiphasig. 2000–12000 Watt, 208–600 Volt. |
3HXOL-SERIE Niedrige Wattdichte, 3 Elemente, Bodenheizung. Mit Fluorpolymer (PTFE) ummantelte 304-Edelstahlelemente, die gegenüber den meisten Lösungen inert sind. 3000–18000 Watt, 208–480 Volt.
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| HXF-SERIE Spiralheizkörper mit geringer Wattdichte. Mit Fluorpolymer (PTFE) ummantelte Elemente aus Edelstahl 304, die gegenüber den meisten Lösungen inert sind. 500–6000 Watt, 120–600 Volt. |
HX-SERIE Niedrige Wattdichte, Spirale. Mit Fluorpolymer (PTFE) ummantelte 304-Edelstahlelemente, die gegenüber den meisten Lösungen inert sind. Einphasig. 500-9000 Watt, 120-600 Volt. |
3HX-SERIE
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Hot DIW reinigt Wafer effektiv
Bei Reinigungsprozessen, bei denen Schwefelsäure zum Einsatz kommt (z. B. Vordiffusionsreinigung und Resist-Stripping), bleiben chemische Restpartikel zurück, die die Ausbeute und den Durchsatz beeinträchtigen können. Durch die Migration und Keimbildung der H2SO4-Moleküle können in nur 48 Stunden Partikel erzeugt werden. Zu den unerwünschten Schritten zur Lösung dieses Problems gehören:
• Chemische Reinigung, z. B. Fluorwasserstoff-Spülungen (HF) und RCA-Reinigungsprozesse, erzeugen zusätzlichen gefährlichen chemischen Abfall
• Mehrere kalte DIW-Spülungen verschwenden teures DIW
• Das mechanische Rühren von Wafern in einem kalten DI-Bad fügt den kalten Waferspülungen mithilfe von Robotik, die einen hohen Wartungsaufwand erfordert, Energie hinzu
Reduzieren Sie die bakterielle Kontamination und verbessern Sie die Prozessausbeute
Nassprozessstationen sind ausgezeichnete Umgebungen für Bakterienwachstum, das durch geringen oder intermittierenden DIW-Fluss, in der Luft befindliche Bakterien und Kreuzkontaminationen durch Filter verursacht wird.
Durch Erhitzen Ihres DIW auf 90 °C können interne Rohrleitungen desinfiziert werden, ohne Stationskomponenten zu demontieren oder potenziell gefährliche Chemikalien zu verwenden. Dadurch entfallen auch Ausfallzeiten und die damit verbundenen Arbeitskosten, die für die chemische Desinfektion erforderlich sind. Die Reduzierung der Bakterienkontamination verbessert die Produktionsausbeute.