Schnelleres Aufheizen:Einzelne Heizkammergrößen bis zu 18 kW.
Schnelle Installation:Kundenspezifische Rohrverbindungen
Lange Lebensdauer des Heizers für reduzierte Betriebskosten (COO):
Das patentierte Heizgasreinigungssystem entfernt kontinuierlich jegliche Chemikalienpermeation und gewährleistet eine lange Lebensdauer der Elemente.
Lange Lebensdauer des Heizers und sauberer Betrieb:Das patentierte Heizgasreinigungssystem entfernt kontinuierlich Chemikalienpermeation und gewährleistet eine außergewöhnlich lange Lebensdauer der Elemente. Dieses System schützt auch vor potenzieller ionischer Kontamination der Chemie.
Robuste Konstruktion:Die dickwandige Kammer bietet eine lange Lebensdauer in den rauesten Hochtemperaturanwendungen.
Außergewöhnlich saubere Leistung:Die dickwandige Fluorpolymerschicht minimiert die Permeation. Die Elementspülüberwachung minimiert das Potenzial für ionische Kontamination. Die Reinraummontage und -prüfung gewährleisten die höchsten Fertigungsstandards.
Hervorragende chemische Verträglichkeit:Alle fluorpolymerbenetzten Teile sind mit praktisch jeder Chemie kompatibel.
Hervorragende Temperaturstabilität:Das Design mit niedriger Wattdichte ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozesstemperatur.
SC1: Ammoniumhydroxid (NH4OH) und Wasserstoffperoxid (H2O2)
SC2: Salzsäure (HCl) und Wasserstoffperoxid Gepufferter Oxideätzprozess (BOE): Flusssäure (HF) und Ammoniumfluorid (NH4F)
Nitridätzen/Strippen: Phosphorsäure (H3PO4)Verschiedene Säuren wie:
Salzsäure (HCl)
Flusssäure (HF)
Essigsäure (C2H4O2)
Salpetersäure (HNO3)
Schwefelsäure (H2SO4)
Schwefelsäure und Wasserstoffperoxid
Schwefelsäure und Ozon (O3)
Flusssäure und Glykol (C2H6O2)
Kaliumhydroxid (KOH)
Natriumhydroxid (NaOH)
Stromloses Nickel Stromloses Kupfer Stromloses Gold Deionisiertes Wasser
Einige Lösungsmittel (Werk konsultieren)
Unübertroffene Erwärmung von Halbleiterprozessflüssigkeiten bis zu 210 °C.
Das patentierte Heizgasreinigungssystem gewährleistet eine lange Lebensdauer der Elemente und reduzierte Betriebskosten.
Die dickwandige Kammer bietet eine lange Lebensdauer in den rauesten Hochtemperaturanwendungen.
Die Elementspülüberwachung minimiert das Potenzial für ionische Kontamination. Die Reinraummontage und -prüfung gewährleisten die höchsten Fertigungsstandards.
Alle fluorpolymerbenetzten Teile bieten eine hervorragende Kompatibilität mit praktisch jeder Chemie.
Das Design mit niedriger Wattdichte ermöglicht eine präzise und stabile Steuerung der Prozesstemperatur.
PVDF-Hochtemperatur-Montagehalterungen (Hochtemperaturmodell)
Optionen:
Horizontal montierte Konfiguration
Integrierte Kühlspulen
100-Ohm-RTDs oder “J”, “K” oder “E”-Typ-Prozess- und
Element-Thermoelemente
Heizungen mit niedrigerer Wattdichte für spezielle Anwendungen
• 100 PSIG (7 Bar) bei 25 °C
• 43 PSIG (. Bar) bei 180 °C
Heizungsgrößen:1.000 Watt bis 18.000 Watt
Verfügbare Heizspannungen:
• 200 bis 600 Volt, ein- oder dreiphasig (12 kW und
größer erfordert Dreiphasenstrom).
Wattdichte:10 Watt pro Quadratzoll (1,5 W/cm2)
Verfügbare Flüssigkeitsanschlüsse:
• 1⁄4” (6 mm) bis 1” (25 mm) gebördelt
• 1⁄2” (12 mm) bis 1” (25 mm) Super 300 Typ Pillar®•
Andere Anschlüsse verfügbar, Werk konsultieren
Nassprozesse für Halbleiter
Sterilisation/Reinigung
Reinigung von Solar-/Photovoltaik-Wafern
Flüssigkeitsstandsensor
Erdungskabeloptionen
Übertemperatur-Thermoelement
Prozess-Thermoelement
Heizung
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PFA-Inline-Chemikalienheizer
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Wattagen
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1,5-12 kW
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Prozesschemikalien
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Verdünnte Flusssäuren (DHF),
Gepufferte Flusssäuren (BHF), Gepufferter Oxideätzprozess (BOE), Alkalische Chemikalien (TMAH, KOH, NAOH), Fluorierte Lösungsmittel, Flusssäure, Glykol und vieles mehr. |
Max. Betriebstemperatur
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180 °C (Werk konsultieren
für höhere Temperaturen) |
Max. Druck
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40 psi bei 180 °C
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Spannungen
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200-400VAC,
ein- oder 3-phasig modellabhängig |
Branchen
Produkte für die allgemeine Metallveredelung |
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MOTS SINGLE |
MOTS SINGLE – DAS, PHOSPHAT |
MOTS TRIPLE – L-FÖRMIG, REDUZIERT |
MOTS SINGLE – UNTEN, REDUZIERT .
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MOTS TRIPLE – L-FÖRMIG
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6HS SERIE – ROHRFÖRMIG
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9HX SERIE Niedrige Wattdichte, 9-Elemente-Fluorpolymer (PTFE)-ummantelte 304-Edelstahlelemente, die gegen die meisten Lösungen inert sind. Dreiphasig. 3000-18000 Watt, 208-600 Volt. ![]() |
6HX SERIE Niedrige Wattdichte, 6-Elemente-Fluorpolymer (PTFE)-ummantelte 304-Edelstahlelemente, die gegen die meisten Lösungen inert sind. Dreiphasig. 2000-12000 Watt, 208-600 Volt. ![]() |
3HXOL SERIE Niedrige Wattdichte, 3-Elemente-Bodenheizung. Fluorpolymer (PTFE)-ummantelte 304-Edelstahlelemente, die gegen die meisten Lösungen inert sind. 3000-18000 Watt, 208-480 Volt.
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