2KW 3KW 6KW インライン化学ヒーターは、比類のない半導体プロセス流体加熱を実現しますは、フッ酸(HF)、水酸化カリウム(KOH)、およびPFAと互換性のあるその他の化学物質用に設計されています。
これらのPFAヒーターは、広く受け入れられている高純度材料を動作限界まで押し上げ、性能と信頼性を最大化します。
当社は、高純度液体の加熱を新たなレベルの性能と信頼性へと再び引き上げました。
当社は、高純度液体の加熱を新たなレベルの性能と信頼性へと再び引き上げました。過酷な環境下で高純度材料を使用して液体を加熱するには、経験からしか得られない特別なスキルと知識が必要です。40年以上にわたり、当社のエンジニアは加熱石英バスを改良し、改善を重ね、半導体および関連業界の重要なニーズを理解してきました。その知識の集大成が、PFAインラインヒーターに組み込まれ、性能を発揮するだけでなく、設置とメンテナンスも簡素化する製品を生み出しました。長年のISO 9001登録が示すように、当社の製造プロセス管理への献身は、お客様が均一な高品質の製品をタイムリーに受け取ることを保証します。当社は、ほぼすべてのアプリケーションに簡単に統合できるように、幅広い標準モデルとカスタムモデルを提供しています。
ヒーター | PFAインライン化学ヒーター |
---|---|
ワット数 | 1.5~12kW |
プロセス化学物質 | 希フッ酸(DHF)、 緩衝フッ酸(BHF)、 緩衝酸化物エッチング(BOE)、 アルカリ性化学物質(TMAH、KOH、NAOH)、 フッ素化溶剤、 フッ酸、 グリコールなど。 |
最大動作温度 | 180℃(より高い温度については工場にご相談ください) 最大圧力 |
180℃で40psi | 電圧 |
200~400VAC、 | 単相または3相 モデル依存 業界 |
半導体製造
インラインヒーター | ||
PFAインラインヒーター | インライン化学ヒーター
| FAQ |
出荷品が破損した場合の対処法:
品物、梱包材、カートンをそのままにしておいてください。運送業者の最寄りの営業所に連絡し、カートンとその内容物の即時検査を依頼してください。運送業者による検査が完了し、損傷に関する書面による確認を受け取った後、返品承認については、当社のカスタマーサービス部門(+86-13560811662)までご連絡ください。返品承認について書面で連絡する場合は、注文番号を明記してください。損傷の程度に応じて、商品を修理または交換します。上記の指示に従うことはお客様の責任であり、そうしないと運送業者は損傷に対するいかなるクレームも認めません。この出荷に関して不足または質問がある場合は、10日以内にご連絡ください。
安全上の注意
このユニットが最小限のユーザー入力またはメンテナンスで動作するようにあらゆる努力が払われています。ただし、このユニットの操作、メンテナンス、または修理を行う際には、依然として注意が必要です。このユニットは、発熱体と電気部品を使用しており、どちらも火傷、火災、感電の危険性があります。これらの危険は、人員、プラント、および/またはプロセスに傷害をもたらす可能性があります。ユニットの操作を支援し、上記の危険のリスクを軽減するために、以下にご注意ください。
注意事項
• このシステムの機能と機能を理解していることを確認するために、本書およびすべての付属資料を注意深く完全に読んでください。このシステム内の不可欠な安全性と制御に慣れ、その機能を理解してください。
• 電気発熱体および/またはアセンブリの設置、修理、または交換を行う前に、必ず電源を切ってください。
• 電気端子エンクロージャは、アプリケーションの環境に適合するように選択し、特に危険な場所では、最悪のケースの故障に耐えることができるようにする必要があります。