半導体産業における220V単相2KWインライン化学ヒーターは、フッ酸(HF)、水酸化カリウム(KOH)、およびPFAと互換性のあるその他の化学物質向けに設計されています。
これらのPFAヒーターは、広く受け入れられている高純度材料を動作の限界まで押し上げ、性能と信頼性を最大化します。
当社は、高純度液体の加熱を新たなレベルの性能と信頼性へと再び引き上げました。
当社は、高純度液体の加熱を新たなレベルの性能と信頼性へと再び引き上げました。過酷な環境下で高純度材料を使用して液体を加熱するには、経験からしか得られない特別なスキルと知識が必要です。40年以上にわたり、当社のエンジニアは加熱石英バスを改良し、改善を重ね、半導体および関連業界の重要なニーズを理解してきました。その知識の集大成がPFAインラインヒーターに組み込まれ、性能を発揮するだけでなく、設置とメンテナンスも簡素化する製品を生み出しました。長年のISO 9001登録が示すように、当社の製造プロセス管理への献身は、お客様が均一で高品質な製品をタイムリーに受け取ることを保証します。当社は、ほぼすべてのアプリケーションに簡単に統合できるように、幅広い標準モデルとカスタムモデルを提供しています。
ヒーター
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PFAインライン化学ヒーター
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ワット数
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1.5~12kW
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プロセス化学物質
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希フッ酸(DHF)、
緩衝フッ酸(BHF)、 緩衝酸化物エッチング(BOE)、 アルカリ性化学物質(TMAH、KOH、NAOH)、 フッ素化溶剤、 フッ酸、 グリコールなど。 |
最高動作温度
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180℃(工場にご相談ください
より高い温度の場合) |
最高圧力
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180℃で40psi
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電圧
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200~400VAC、
単相または3相 モデル依存 |
業界
超高純度加熱用製品 |
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インラインヒーター |
PFAインラインヒーター
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インライン化学ヒーター |
可燃性溶剤加熱用
IPAおよび低引火点溶剤を安全に加熱するように設計された製品で、次世代半導体ノード技術をサポートするための最も厳しい清浄度要件を満たしています。
製品可燃性溶剤加熱用 |
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PFAインライン化学ヒーター![]() |
PTFEインライン化学ヒーター
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インライン化学ヒーター
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インライン化学ヒーターは、液体全体を加熱するのではなく、パイプまたはチューブ内を流れる流体を加熱するデバイスです。これらのヒーターは、使用時点で流体を迅速に加熱するように設計されており、より速い加熱、熱損失の低減、および効率の向上などの利点を提供します。半導体製造、化学処理、流体処理などのプロセスにおいて、化学物質、溶剤、その他の流体を加熱するために、産業環境で一般的に使用されています。
インライン化学ヒーターの主な特徴と利点:
急速加熱:
インラインヒーターは、連続的な流体の流れを迅速に加熱できるため、加熱された流体を使用する前に、タンク全体が目的の温度に達するのを待つ必要がありません。
使用点加熱:
流体は必要な場所で直接加熱されるため、熱損失とエネルギー消費を最小限に抑えます。
効率的なエネルギー使用:
流れる流体に熱を集中させることで、大量の液体を加熱する場合と比較してエネルギーの無駄を削減します。
多様なアプリケーション:
インラインヒーターは、さまざまな化学物質、溶剤、および温度に対応するために、さまざまな設計と材料で利用できます。
材料の互換性:
多くのインラインヒーターは、腐食や化学反応に耐えるために、ステンレス鋼、フッ素ポリマー(PFA/PTFE)、石英、チタンなどの材料で作られています。
安全機能:
一部のインラインヒーターは、化学物質の透過を除去するためのガスパージ、温度センサー、およびさまざまな条件下での安全な操作のための自己制限技術などの機能を組み込んでいます。
カスタマイズ:
シングルパスまたは再循環アプリケーション、さまざまな電力出力、およびさまざまな流体接続のオプションにより、特定のプロセスニーズに合わせてカスタマイズできます。
低ワット数オプション:
一部のインラインヒーターは低ワット数用に設計されており、デリケートな化学物質や、正確な温度制御を維持することが不可欠なアプリケーションに適しています。
インライン化学ヒーターの用途:
半導体製造:
ウェーハの洗浄、レジストの剥離、およびさまざまなプロセスステップのための化学物質の加熱。
化学処理:
化学反応、混合、およびその他のプロセスステップのための加熱と温度維持。
溶剤処理:
洗浄、抽出、およびその他の用途での溶剤の加熱。
超高純度(UHP)アプリケーション:
超高純度材料用に設計されたインラインヒーターは、脱イオン水加熱、製薬製造、および高度な材料科学などのプロセスに不可欠です。
インラインヒーターの部品
インラインヒーターは、さまざまな部品で構成されています:
発熱体とそのシースと断熱材。
加熱する流体をシステムに押し込むポンプユニット。
流体自体は、発熱体の周りのループを通過し、通過するたびに熱くなります。
加熱された流体が適切な熱に達すると、システムから押し出される出口ノズル。
液体が目的の温度に達したときに判断する熱電対センサー。
複雑さが異なる制御システム–一部はユニットのオンとオフを切り替えることができますが、温度が設定されており、他のものはより柔軟で、ユーザーが温度を変更できます。
インラインヒーターに追加できるオプションコンポーネントがいくつかあります。これらには、耐湿性または爆発に耐えることができるより強力なケースが含まれます。追加のフランジタイプと取り付け機器も利用できます。