Ultra-Hochreine Hochtemperaturfähige PFA-Nassprozesstanks in Halbleiteranwendungen
PFA (Perfluoralkoxy)-Tanks sind Hochleistungs-Lager- und Prozessbehälter, die für extreme chemische Beständigkeit, ultrahohe Reinheit und Hochtemperaturfähigkeit ausgelegt sind.
Ideal für die Halbleiter-, Chemie- und Pharmaindustrie, werden sie zur Lagerung von Säuren und ultrareinen Flüssigkeiten verwendet.
Sie sind als massive Formteile oder als PFA-ausgekleidete Stahlbehälter erhältlich.
Hauptmerkmale und Vorteile
Überragende chemische Beständigkeit: PFA-Auskleidung widersteht den meisten Säuren, Laugen und stark korrosiven Medien.
Ultrahohe Reinheit: Ideal für Anwendungen, die minimale Kontamination erfordern (geringer Auslaugungsgehalt).
Hohe Temperaturbeständigkeit: Geeignet für Prozesse bis 200 °C.
Nahtlose Optionen: Ermöglicht einteilige Formteile, wodurch potenzielle Leckstellen und Kontaminationen in Halbleiteranwendungen vermieden werden.
Unsere überschüssigen Prozess- und Spültanks sind aus einem einzigen Stück anwendungsspezifischen Kunststoffmaterials gefertigt, das CNC-bearbeitet und dann nach der "ORIGAMI"-Methode zu Ihrem Tank gefaltet wird. Geschweißte Ecken können Partikel-/Kontaminationsfallen erzeugen und aufgrund von Verarbeitungsfehlern, thermischer Belastung oder längerer chemischer Einwirkung undicht werden. Die "ORIGAMI"-Methode minimiert Schweißnähte und sorgt für glatte, nahtlose, abgerundete Innenecken.
Der "ORIGAMI"-Konstruktions- und Fertigungsansatz in Kombination mit über 40 Jahren Erfahrung in Nassprozessen liefert optimale Prozess- und Spülergebnisse zu den niedrigstmöglichen Kosten.
PTFE-Tanks sind in Konfigurationen für alle Substrat- und Kassettengrößen in Standard- oder kundenspezifischen Designs erhältlich. Wenden Sie sich an unseren Vertrieb, um ein kostengünstiges Angebot zu erhalten. Verkaufszeichnungen von Standardtanks sind auf Anfrage erhältlich.
Kundenspezifische PTFE-Tankmerkmale:
- Hergestellt von erfahrenen Schweißern nach Kundenspezifikationen
- Maximale Liefergröße: 2,0 m × 2,5 m × 2,0 m
- Keine Form erforderlich, wirtschaftlich für kleinere Produktionsserien
- Flexible Designs für verschiedene Anwendungsanforderungen
Hauptanwendungen:
- Waschtank (Siliziumwafer, etc.)
- Temperaturkontrollierter Waschtank
- Chemikalienlagerung
Bediente Branchen:
- Halbleiterfertigung
- Solarzellenherstellung
- Flachbildschirme, LEDs & Elektronik
- Chemikalienherstellung
- Industrielle Fertigung
Weitere Anwendungen
RO/DI-Wassererwärmung
Deionisiertes Wasser (DI-Wasser) ist für industrielle Prozessanwendungen, die eine hochreine Verunreinigungsentfernung erfordern, unerlässlich. Die Reinigung von Halbleitern oder anderen ultrareinen Geräten erfordert höchste Reinheitsgrade, um Produktausfälle zu vermeiden.
Anwendungen:
- Halbleiter
- Flachbildschirme
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Heizsysteme für gereinigtes DI-Wasser
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PTFE Inline-Chemikalienheizer
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Point-of-Use-Heizung
Point of Use (POU) Heizung bezieht sich auf die energieeffiziente Methode, kleine Heizgeräte in der Nähe von Prozessbädern zu platzieren, um Wartezeiten beim Aufheizen zu verkürzen.
Anwendungen:
- Halbleiterwaferreinigung
- Ätzen
- Inline-Chemikalienheizung
- Point-of-Use-Heizung (POU)
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Hochreiner PFA Inline-Chemikalienheizer
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PTFE Inline-Heizer
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Inline-Chemikalienheizer
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