![]()
![]()
![]()
![]()
![]()
|
Нагреватель
|
Проточный химический нагреватель PFA
|
|---|---|
|
Мощность
|
1,5-12 кВт
|
|
Технологические среды
|
Разбавленные плавиковые кислоты (DHF),
Буферные плавиковые кислоты (BHF), Буферный травитель оксида (BOE), Щелочные химикаты (TMAH, KOH, NAOH), Фторированные растворители, Плавиковая кислота, Гликоль и многое другое. |
|
Максимальная рабочая температура
|
180°C (для более высоких температур обратитесь к производителю)
Максимальное давление |
|
40 psi при 180°C
|
Напряжение
|
|
200-400 В переменного тока,
|
однофазное или трехфазное
в зависимости от модели Отрасли |
Производство полупроводников
ПрименениеОчистка полупроводниковых пластин
|
||
|
Проточный нагреватель PTFE |
Проточный химический нагреватель
|
|