Hochreine Wafertrocknung und Teilereinigung Halbleiter Edelstahl N2 Heizung
Übersicht
Diese Edelstahl-N2-Heizung wurde für die hochreine Wafertrocknung und Teilereinigung entwickelt und ist mit Stickstoff, CDA (Clean Dry Air) und anderen hochreinen Inertgasen kompatibel. Das elektropolierte Gehäuse aus 316L-Edelstahl verfügt über passivierte benetzte Oberflächen für überlegene Kompatibilität mit den meisten Prozessflüssigkeiten. Sein kompaktes Design minimiert den Platzbedarf und bietet gleichzeitig ein austauschbares Heizelement. Erhältlich in mehreren Modellen von 375 Watt bis 3.000 Watt.
Integrierte Sicherheit
Die N2-Heizung verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen, darunter Hochgrenz- und Prozessthermoelemente für eine präzise Temperaturregelung, einen thermischen Abschaltfühler zur Verhinderung von Überhitzung und ein Erdungskabel. Ein optionaler mikroprozessorgesteuerter Temperaturregler in einem externen NEMA-geschützten Schaltschrank ist erhältlich.
Highlights
Leistungsbereich: 375W bis 3.000W (spannungsabhängig)
Spannungsoptionen: 120 VAC bis 240 VAC, 1-phasig (wattabhängig)
Geeignet für Reihenschaltung für höhere Watt- und Durchflusskapazitäten
Betriebstemperatur: 200°C (392°F)
Druckstufe: 60 PSIG bei 200°C
Merkmale & Vorteile
316L-Edelstahl mit elektropolierten und passivierten benetzten Oberflächen
Sanitäre Anschlusskonstruktion eliminiert Gewinde, um Partikelansammlungen und Bakterienwachstum zu reduzieren
Kompaktes Design mit einer Höhe von ca. 13 Zoll
Plug-and-Play-System für einfache Installation
Optionaler mikroprozessorgesteuerter Temperaturregler in NEMA-geschütztem Gehäuse
Flexible Konfigurationen mit verschiedenen Leistungsanforderungen und Optionen
Keine N2-Spülung erforderlich
Optionen
Gehäuse für Heizung
Verschiedene Größen von Einlass-/Auslassanschlüssen
Umgedrehtes Heizungsdesign für Systementwässerung
Zusätzliche Sicherheitsfunktionen
Trockenkontakt an Steuerungen
Spezifikationen
Heizung
N2 SS Heizung
Benetzte Oberfläche
316L Edelstahl Elektropolitur
Größen
375 - 3000 Watt (abhängig von der Spannung)
Spannungen
120 VAC bis 240 VAC 1-phasig (abhängig von der Wattzahl)